يرجى إنشاء تمثيل JSON لغازات العملية المستخدمة لترسيب الكربون غير المتبلور في PECVD، مع الصيغة الجزيئية كمفتاح، واسم الغاز المدرج في الوصف، ومفتاح "معدل العمق" الذي يشير إلى التأثير الأكثر احتمالاً على معدل ترسيب الكربون بعد زيادة نسبة الغاز في العملية (بقيم "الزيادة" أو "النقصان" أو "غير مهم"). وقم أيضًا بتضمين الرقم 1-10 الذي يشير إلى قوة الإيمان بالتأثير الموصوف. يجب أن يكون الرأس "الكربون غير المتبلور PECVD".
{"source": "OpenAssistant/oasst2", "kind": "human", "evolved_from": null}