Gerät, das speziell für die Ionenimplantation bzw. für die mit Ionen oder Photonen verstärkte Diffusion entwickelt wurde und eine der folgenden Eigenschaften aufweist:
установки, специально предназначенные для ионовой имплантации, ионо- или фотоусиленной диффузии, имеющие любую из следующих характеристик: