گروه دیگری از تکنیک‌های نانو تکنولوژیکی شامل آنهایی که برای ساخت نانولوله‌ها و نانوسیم‌ها استفاده می‌شوند، آنهایی که در ساخت نیمه‌رساناها مانند لیتوگرافی فرابنفش عمیق، لیتوگرافی پرتو الکترونی، ماشین‌کاری پرتو یونی متمرکز، لیتوگرافی نانو اثر، رسوب دهی لایه اتمی و رسوب بخار مولکولی استفاده می‌شوند و شامل تکنیک‌های خودآرایی مولکولی مانند آنهایی که از کوپلیمرهای دو بلوکی استفاده می‌کنند، می‌شوند.