اگرچه از نظر مفهومی شبیه به میکروسکوپ اسکن کنفوکال است که توسط ماروین مینسکی در سال 1961 و میکروسکوپ اسکن صوتی (SAM) که توسط کالوین کوات و همکارانش در دهه 1970 توسعه یافته است، میکروسکوپ‌های جدید پروب اسکن وضوح بسیار بالاتری دارند، زیرا آنها به طول موج صدا یا نور محدود نیستند.