US  6,653,054  B2  Sheet  1 of  2  Nov.  25,  2003  U.S.  Patent  EUV  *  DUV  5  i  5  5  {:.i-:/-\:.~.:r;.::.~.:.::=?-:--~~-~-:.::.\:.<:.:;.::;  ..  :_::.:_.:.:,::_:_::_::.:>:.\_;;  :.r:_::_’.,.:~:.:_;_~.::\:~•=:,...,:.•  ..  ~c;-:: ...  r---- 3  ,....,....... ___  2  ~--1  7 5  6  7  5  6  7  5  7  5  7  5  7  5  FIG. 4  FIG.  3  FIG. 2  FIG. 1 