1 EP 3 800 008 A1 2  Beschreibung Gebiet der Erfindung Hintergrund der Erfindung 2 55 50 [0005] Optische Einzelbauelemente und Linsen aus Glas (insbesondere Prismen) mit mindestens einer pla- [0004] Die Realisierung der optischen Funktion erfolgt durch die Formgebung des homogenen optischen Me- diums oderdurch die Brechzahländerung eines in seiner Form unveränderten optischen Substrates (Gradienten- Index-Bauelemente,GRIN)oderdurch eine Kombination beider Methoden. 45 40 [0007] DE 60221502 T2 beispielsweise betrifft eine Poliervorrichtung zum Wiederherstellen von optischen Scheiben oder Disks, z.B. CD, DVD, VD und LD,umfas- send eine Scheibenrotationsvorrichtung zum Rotieren einer optischen Scheibe, und einen Poliermechanismus zumPolieren derOberfläche deroptischen Scheibe,wo- beiderPoliermechanismus einen elastischen Mechanis- mus zum elastischen Halten eines Polierpads und das Polierpad ein Polierblattaufweist.Derelastische Mecha- nismus ist konstruktiv so ausgelegt, dass das Polierblatt mitderOberfläche deroptischen Scheibemiteinemzum Polieren erforderlichen Druck inKontaktkommt.Die kon- struktive Auslegung des elastischen Mechanismus lässt sich jedoch nichtauf das Polieren von Planoptiken über- tragen. [0003] Das Spektrum der Werkstoffe für die Herstel- lung von optischen Strukturen ist extrem breit und wird derzeitauch noch erweitert.Die fürdieAnwendung wich- tigsten Werkstoffe sind Gläsereinschließlich Quarzglas, Polymere und Silicium, daneben einige Kristalle wi LiNbO$_{3}$ sowie GaAs und GaP (letzteres ist als hochbre- chendes Material für Wellenlängen über 500 nm geeig- net). Bei Polymeren sind die niedrigen Kosten für eine Massenfertigung entscheidende Triebkraft. Silicium ist ein MaterialderWahlfürSpiegelsowie fürden infraroten Spektralbereich,da die dortvorliegende hoheBrechzahl optische Vorteile bringt. 35 [0006] Konventionelle automatisierte Systeme für das Polieren von planen Flächen, die eine hohe Präzision erfordern, wie beispielsweise plane Flächen optischer Bauteile sind somit entweder sehr komplex und teuer oder erreichen nicht die gewünschten Qualitätsanforde- rungen. Auf angrenzenden technischen Gebieten sind zwar Vorrichtungen zum Polieren von planen Flächen bekannt, dieses sind aber nicht für das Polieren von pla- nen Flächen, die eine hohe Präzision erfordern, wie bei- spielsweise plane Flächen optischer Bauteile, geeignet. [0002] Zu den Grundstrukturen der klassischen Optik gehören bekannte Strukturen wie Linsen, Prismen, Po- larisatoren, Filter, Phasenplatten, Spiegel, Blenden, Git- ter. Schwerpunkte von Entwicklung und Fertigung sind vor allem Prismen, Prismen- und Spiegelgruppen, Lin- sen und Linsenarrays (sphärisch und asphärisch, zylin- drisch, eindimensionale Zeilen und zweidimensionale Arrays)mitrefraktiveroderdiffraktiverWirkung sowie Git- terstrukturen. 30 25 20 Anschließend erfolgt das Polieren der Optiken, wieder- um mit sehr komplexen CNC-Maschinen oder klassi- schen Hebelpoliermaschinen. Auch das Schleifen und Polieren von Hand ist für spezielle Optiken noch eine gängige Methode. Der Poliervorgang dauert wenige Mi- nuten bis mehrere Stunden, je nach Größe, Form und Material der Optiken. In der industriellen Optikfertigung kommen vereinzelt bei der Politur von sphärischen und asphärischen Linsen, schon seit einiger Zeit Roboter er- folgreich zumEinsatz.Diese Optikarten sind jedoch sehr verschieden in ihren Fertigungsprozessen. Die für die Linsenbearbeitung existierenden Roboterverfahren sind bisheute nichtfürplaneFlächenanwendbar,da sie keine ausreichende Güte für die erforderliche Oberflächene- benheit erreichen. Die Polierbewegungen und -richtun- gen klassischer Hebelmaschinen sind nicht frei gestalt- bar, weil der prinzipielle Bewegungsablauf durch das Prinzip der Hebelmaschine fest vorgegeben wird. Es können keine Zyklen mit ganz verschiedenen Bewe- gungsformen umgesetzt werden, was bei einigen Opti- karten fürdas Erreichen der erforderlichen Oberflächen- güte notwendig wäre. Polierwerkzeuge für Linsen, wie beispielsweise bekanntaus derDE 60202804 T2,weisen eine torische Polierfläche auf und sind deshalb nur für das Polieren konkaver oder konvexer Flächen geeignet, nicht aber für das Polieren planer Flächen. [0001] Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für das Schleifen und/oder Polieren von planen Flächen, insbe- sondere planen Flächen optischer Werkstücke, umfas- send ein Schleif- und/oder Polierwerkzeug, einen Rah- men,einen Halterfürmindestens ein Werkstück,und ein Mittel zum Bewegen des Rahmens, dadurch gekenn- zeichnet dass ein Werkstück oder der Werkstückhalter mit dem mindestens einen Werkstück in dem Rahmen so angeordnet ist, dass ein Loslager zwischen d Werkstück oder demWerkstückhalter und demRahmen gebildet wird. Die Vorrichtung ist so konfiguriert, dass Bewegungen von dem Mittel zum Bewegen des Rah- mens von dem Rahmen auf das Werkstück oder den Werkstückhalter mit dem mindestens einen Werkstück übertragen werden, sodass das Werkstück oder  Werkstückhalter mit einem Werkstück in einer Ebene, die durch die aufliegenden Flächen des Werkstücks auf demSchleif-und/oderPolierwerkzeug vorbestimmtwird, geführt wird. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfah- ren für das Schleifen und/oder Polieren von planen Flä- chen unter Verwendung der erfindungsgemäßen Vor- richtung. 5 10 15 nen Fläche werden konventionell mit den klassischen Herstellungsmethoden (Schleifen, Polieren)odermittels komplexer CNC-Maschinen hergestellt. Dabei erfolgt das Schleifen des rohen Materialsmit,umbeispielsweise dieFormeines Prismas odereinen ersten Radius beider Linsenoberflächen herzustellen. Das Schleifen umfasst einen SchrittdesGrobschleifens und desFeinschleifens.