9  EP 3 800 008 A1 10  binden. In einer besonders bevorzugten Ausführungs- formderErfindung weistderRahmen deshalb eine recht- eckige, trapezförmige, vieleckige, elliptische oder jede andere Form auf. Dadurch wird das Umsetzen von Be- wegungszyklen mitganz verschiedenen Bewegungsfor- men des Werkstückhalter mit mindestens einem Werk- stück in einer Ebene, und die geschickte Gestaltung der Bewegungsformen (lineare, gekrümmte und Drehbewe- gungen), die in einer Ebene stattfinden sollen, möglich, ohne dass Fehlbewegungen des Rahmens in einer un- erwünschten Ebene (wie zum Beispiel aus der horizontalen Ebene heraus), die durch Fehlbe- wegungen des Mittels zum Bewegen des Rahmens er- zeugt werden, auf den Werkstückhalter und damit auf das mindestens eine Werkstück übertragen werden. [0030] Umdie vorgegebene Oberflächengüte einerzu schleifenden oder polierenden Fläche, insbesondere ei- ner Planoptik zu erreichen, kann es notwendig sein, die Bewegung des WerkstückhaltersmitdemWerkstück ge- nau zu kontrollieren. In einer weiteren Ausführungsform derErfindung istdieerfindungsgemäße Vorrichtungdes- halb dazu konfiguriert, über den Rahmen die Bewegung des Werkstückhalters mit dem Werkstück in genau vor- definierten Bahnen auszuführen. 20 15 10 5 [0033] "Lockerbzw.beweglich enthalten"imSinne der Erfindung bedeutet,dass derWerkstückhaltereinerseits mit dem Rahmen nicht fest verbunden ist und die geo- metrische Form der Öffnung des Rahmens mit der geo- metrischen Form des Teils des Werkstückhalters, der in der Öffnung des Rahmen angeordnet ist, im Wesentli- chen übereinstimmt. Vorzugsweise ist der Abstand zwi- schen der Öffnung des Rahmens und den Außenkanten des Teils des Werkstückhalters, der in der Öffnung des Rahmens angeordnet ist, minimal und gerade groß ge- nug,dass ein Festklemmen des Werkstückhaltersindem Rahmen vermieden wird. Der Abstand (umlaufend) zwi- schen der Öffnung des Rahmens bzw. den dort ange- brachten Führungen für den Werkstückhalter und den Außenkanten des Teils des Werkstückhalters, derin der Öffnung des Rahmens enthalten ist, kann beispielweise zwischen 0,01 und 10 mm, vorzugsweise zwischen 0,1 und 5mm,besondersbevorzugtzwischen 0,1und 2 mm oder zwischen 0,1 und 1 mm betragen. [0034] Wie bereits beschrieben, umfasst die erfin- dungsgemäße  Vorrichtung  ein  Schleifwerkzeug und/oder ein Polierwerkzeug. [0035] Prinzipiell ist jede Art von Schleifwerkzeug, dass zum Schleifen von planen Flächen von optischen Strukturen geeignet ist, in der erfindungsgemäßen Vor- richtung verwendbar.Vorzugsweise istdas Schleifwerk- zeug eine Schleifscheibe. Geeignete Schleifwerkzeuge, insbesondere Schleifscheiben sind dem Fachmann aus dem Stand der Technik bekannt. 25 30 [0036] Prinzipiellistjede Artvon Polierwerkzeug,dass zum Polieren von planen Flächen von optischen Struk- turen geeignet ist, in der erfindungsgemäßen Vorrich- tung verwendbar. Vorzugsweise ist das Polierwerkzeug eine Polierscheibe. Geeignete Polierwerkzeuge, insbe- sondere Polierscheiben sind dem Fachmann aus dem Stand der Technik bekannt. 35 [0031] Wie oben erwähnt, führt die Einwirkung  von Druck inwechselnden Stärken aufdasWerkstück zu un- erwünschten Qualitätsverlusten der Güte der pl anen Oberfläche des Werkstücks. Dieses Problem kann da- durch gelöst werden, dass der Druck, der auf das Werk- stückund/oderdenWerkstückhalter einwirkt, kontrolliert wird,vorzugsweise konstantgehaltenwird.Dieswird mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung auf sehr einfache Weise dadurch erreicht, dass das Gewicht des Werk- stücksoderdesWerkstücksmitWertstückhalterundggf. Tragkörper für mehrere Werkstücke zur Erzeugung des erforderlichen Drucks verwendetwird,oderdass aufden Werkstückhalter mit dem Werkstück zusätzlich ein Ge- wichtaufgebrachtwird,das einegewünschte Masse auf- weist und das zusammen mit dem Werkstückhalter und dem Werkstück bewegt wird. In einer weiteren Ausfüh- rungsformderErfindung istdie Vorrichtung deshalbdazu konfiguriert,dassderzurAusführungdes Poliervorgangs benötigte Druck durch das Werkstückgewicht selbst, di- rekt durch den Werkstückhalter, und optional,ein auf dem Werkstück und/oder Werkstückhalter aufgebrach- tes Gewicht ausgeübt wird. 40 45 [0037] Das Polier- und das Schleifwerkzeug können auch identisch sein. Die gewünschte Oberflächengüte des Werkstücks kann dann beispielsweise durch Aus- wahl geeigneter Schleif- und Poliermittel erreicht wer- den, die dem Fachmann bekannt sind. [0038] Die Erfindung betrifftweiterhin einVerfahren für das Schleifen und/oderPolieren von planen Flächen,ins- besondere Präzisions-Planoptiken mit Hilfe der erfin- dungsgemäßen Vorrichtung. In einer bevorzugten Aus- führungsform umfasst das Verfahren die Schritte: [0032] Nachteilig auf die Güte der Oberfläche der Pla- noptik kann sich außerdem auswirken, wenn das Werk- stück durch die Ausführung der Bewegungen  Schleifen oder Polieren zu rotieren beginnt. In einer wei- teren Ausführungsform der Erfindung ist die Vorrichtung deshalb dazu konfiguriert,eine erzwungene Rotation des Werkstücks zu vermeiden. Dies wird beispielsweis durch die oben genannte geometrische Form der Öff- nung des Rahmens (rechteckig, trapezförmig, vieleckig oder elliptisch) und eine entsprechende geometrische Form des Teils des Werkstückhalters, der beweglich in dem Rahmen angeordnet ist, erreicht. 50 55 6 • Einbringeneines Werkstücks odereines Werkstück- halters mit dem mindestens einen Werkstück in ei- nen Rahmen, der mit einem Mittel zum Bewegen des Rahmens verbunden ist,derwahlweiseseitliche Anlagen zur Führung des Werkstückhalters auf- weist; • Bewegen des Rahmens mit dem Werkstück oder dem Werkstückhalter, der mindestens ein Werk- stück enthält,mitdemMittelzumBewegen des Rah- mens in einerEbene,die durch die aufliegenden Flä- chen des Werkstücks auf einem Schleif- und/oder