[7] C. A. Regal, J. D. Teufel, and K. W. Lehnert, Nat Phys 4 , 555–560 (2008). [8] G. J. Grabovskij, L. J. Swenson, O. Buisson, C. Hoffmann, A. Monfardini, and J. C. Villegier, Appl. Phys. Lett. 93 , 134102 (2008). [9] B. A. Mazin, Caltech Thesis p. 179 (2004). [10] J. M. Martinis, Quantum Inf Process 8 , 81–103 (2009). [11] P. Day, H. Leduc, A. Goldin, T. Vayonakis, B. Mazin, S. Kumar, J. Gao, and J. Zmuidzinas, Nucl Instrum Meth A 559 , 561–563 (2006). [12] J. Swihart, J Appl Phys 32 , 461–& (1961). [13] J. Pond, J. Claassen, and W. Carter, Ieee T Microw Theory 35 , 1256–1262 (1987). [14] J. Gao, Caltech Thesis (2008). [15] A. D. O’Connell, M. Ansmann, R. C. Bialczak, M. Hofheinz, N. Katz, E. Lucero, C. McKenney, M. Neeley, H. Wang, E. M. Weig, A. N. Cleland, and J. M. Martinis, Appl. Phys. Lett. 92 , 112903 (2008). [16] J. Gao, M. Daal, A. Vayonakis, S. Kumar, J. Zmuidzinas, B. Sadoulet, B. A. Mazin, P. K. Day, and H. G. Leduc, Appl. Phys. Lett. 92 , 152505 (2008). [17] J. Gao, M. Daal, J. M. Martinis, A. Vayonakis, J. Zmuidzinas, B. Sadoulet, B. A. Mazin, P. K. Day, and H. G. Leduc, Appl. Phys. Lett. 92 , 212504 (2008). [18] H. Wang, M. Hofheinz, J. Wenner, M. Ansmann, R. C. Bialczak, M. Lenander, E. Lucero, M. Neeley, A. D. O’Connell, D. Sank, M. Weides, A. N. Cleland, and J. M. Martinis, arXiv cond-mat.mes-hall (2009). 10