US 10,394,127 B2  69  70  -continued  (zS)  (z9)  (zlO)  0  0  F 0  II  II  II  Y OCH3  F3C-S-N -s+s-o  $_{Y}$SY  11011  II  01 ....,o  OFO  ,#  OCH3  OCH 3  (zll)  (z12)  (z13)  (z14)  Q  0  F  0  El  11+11  0-S  S-0  s  II  11  V 0 Do  F  o  (z15)  (z16)  (zl 7) 