Patent Application Publication  Oct. 24, 2002  Sheet 6 of 11  US 2002/0153319 Al  FIG. 7  FIG. 8  500  450  400  350  SILICA,  300  ppm  250  200  150  100  50  0  0  EQUIPMENT  . .  . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .Mi>fFUNt""J’lb"r,J ................... .  2  4  3  MONTHS-- 5  6  ~  z  0  i==  u  w  -:,  w  0:::  100.0%  99.9%  99.8%  99.7%  99.6%  99.5%  ••••••••••••••••••••••;1w  <  • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • •  •\•  • ••••••••TEMPORARY•  • EQUIPMENT/  sou~~iN~t  TER  • • • • • •  •MALFUNCTION• • • • • • • • • • • •  .. •  .. • • • •  .......... • •  TEMPORARY  CHANGE  IN  • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • •  PARAMETERS  9 9. 4  %  +--+-+--i--i--+--+--+---+--+--+-+-+---!--t--------+----t---+----t-- 0  2  3  4  5  6 