(17) JP 2017-66267 A 2017.4.6 フロントページの続き (72)発明者  ⽯川 史朗             茨城県那珂市向⼭１００２番地１４ 三菱マテリアル株式会社 中央研究所内 (72)発明者  ⾚池 寛⼈             茨城県那珂市向⼭１００２番地１４ 三菱マテリアル株式会社 中央研究所内 (72)発明者  ⼭▲崎▼ 和彦             茨城県那珂市向⼭１００２番地１４ 三菱マテリアル株式会社 中央研究所内 Ｆターム(参考) 4J002 AE051 BB171 BC032 BD122 BG002 CC032 CF062 CH021 CH071 CK022                CP031 CP032 FA082 FB072