150  US 9,557,643 B2  149  -continued  -continued  (z84)  CCX)  (z85)  ........... 0  ¢  0  F  O=~  F  I  F  -N  \  F  ~  ~  0 F  I  .#  I  .#  (z86)  CH3  I  0=S=0  ¢  O;S*C  CCX)  F  F  (z87)  (z88)  (z89)  CN  ¢  CCX)  (z90)  (z91)  ........... 0  ¢  (z92)  0  (z93) 