(7) JP 2017-66264 A 2017.4.6  図１（ａ）及び図１（ｂ）は、それぞれ、ＲｏＡの値の評価について説明するウェーハ Ｗの断⾯図である。図１（ａ）及び図１（ｂ）において、破線で⽰した領域は、研磨によ って除去された部分Ｐを⽰す。斜線を付した領域は、研磨後のウェーハＷの断⾯を⽰す。 ＲｏＡの値については、ＲｏＡが正の値をとるとき（つまり、研磨取り代Ｄ１の値が研磨 取り代Ｄ２の値より⼤きいとき）、ウェーハＷの最終形状としては、周縁部が跳ね上がっ たロールアップの形状となる。逆に、ＲｏＡが負の値をとるとき（つまり、研磨取り代Ｄ １の値が研磨取り代Ｄ２の値より⼩さいとき）、ウェーハＷの最終形状としては、周縁部 が内⽅よりも多く研磨されたロールオフの形状となる。換⾔すると、ＲｏＡの値が０であ るとき、ウェーハＷの周縁部において、研磨が理想的に均⼀に⾏われていることを意味し ている。なお、必要とされるウェーハＷの形状によって、好ましいＲｏＡの⼤きさが異な る。例えば、周縁部において平坦なウェーハＷが必要とされる場合には、ＲｏＡの値が０ に近いことが好ましい。また、周縁部においてロールアップまたはロールオフとなった形 状のウェーハＷが必要とされる場合には、各々、ＲｏＡは正または負の値となっているこ とが好ましい。   （評価結果）  実施例１〜実施例１０及び⽐較例１〜⽐較例２の研磨⽤組成物の成分、並びに、研磨速 度（ＲＲ）、表⾯粗さ（Ｒａ）、形状悪化量、及びロールオフ量（ＲｏＡ）についての測 定結果を、表１及び表２に⽰す。なお、表１及び表２の研磨⽤組成物の成分の表⽰におい て、各成分の重量％は、研磨⽤組成物（原液）全体に対する重量％を表す。 【００４６】 【００４５】 【００４４】  さらに、上記のウェーハ⽤平坦度検査装置を⽤いて、ウェーハの外周から１０ｍｍの場 所における研磨取り代（以下、「研磨取り代Ｄ１」とも表記する。図１を参照）、及び、 ウェーハの外周から１ｍｍの場所における研磨取り代（以下、「研磨取り代Ｄ２」とも表 記する。図１を参照）を測定した。そして、研磨取り代Ｄ１と研磨取り代Ｄ２の差を、ロ ールオフ量（Ｒｏｌｌ Ｏｆｆ Ａｍｏｕｎｔ：ＲｏＡ）として評価した。   ［ＲｏＡ］＝［研磨取り代Ｄ１］−［研磨取り代Ｄ２］