(9) JP 2017-66264 A 2017.4.6 【表２】 SSH SS AAFAWLYA Riel 10 Ee Bs il 1 EL 2 ETF JL!) KOH {ko K,CO; +L—b#ll(DTP Ot HIRE RRL L/min] REAHE Ralnm] Riots A—JLFTTE RoA [im] (D1-D2)  アミノ酸を含む実施例１〜３と、アミノ酸を含まない⽐較例１とを⽐較すると、実施例 １〜実施例３によれば、表⾯粗さを維持して研磨速度と形状悪化量を著しく改善できてい ることが分かる。  また、アミノ酸を含む実施例４と、アミノ酸を含まない⽐較例１とを⽐較すると、実施 例４によれば、表⾯粗さ、研磨速度を維持して形状悪化量を改善できていることが分かる 。  さらに、アミノ酸を含む実施例５〜７と、アミノ酸を含まない⽐較例１とを⽐較すると 、実施例５〜７によれば、表⾯粗さを維持して研磨速度と形状悪化量を⼤きく改善できて いることが分かる。  それぞれＬ−アルギニン酸、Ｌ−リシン塩酸塩、及びＬ−ヒスチジンを含む実施例５、 ８及び９と、アミノ酸を含まない⽐較例１とを⽐較すると、アミノ酸を含む実施例５、８ 及び９は、⽐較例１と同等の表⾯粗さを維持し、⽐較例１と同等または優れた研磨速度と 【００５１】 【００５０】 【００４９】 【００４８】