(10) JP 2017-66264 A 2017.4.6 なり、且つ、⽐較例１よりも形状悪化量が⼤きく向上していることが分かる。ロールオフ 量については、アミノ酸を含む実施例５，８及び９の研磨⽤組成物によれば、⽐較例１の 研磨⽤組成物による場合よりも、ロールアップのウェーハが得られる傾向となっている。 研磨⽤組成物にアミノ酸を配合することにより、表⾯粗さが維持され、且つ、優れた研磨 速度及び形状悪化量が得られるのは、ピペラジン等の⼀般的なアミン化合物に⽐べて、ア ミノ酸のシリコンに対するエッチング性が低いことが理由であると考えられる。アミノ酸 のシリコンに対するエッチング性が低いので、アミノ酸の添加量を増加させても、研磨速 度の増加率は⼤きくない反⾯、表⾯粗さを維持し、且つ、形状悪化量を改善できていると 考えられる。  アミノ酸（Ｌ−アルギニン酸）の配合量を変量した実施例４〜実施例７、及び実施例１ 〜実施例２によれば、アミノ酸の配合量が⼤きくなるほど、研磨速度が⼤きくなることが わかる。⼀⽅、アミノ酸の配合量が⼤きくなると、ロールオフ量が増加傾向となることが 分かる。  実施例５、８及び９、並びに⽐較例１の⽐較と同様、⽔溶性⾼分⼦（ポロキサミン及び ＨＥＣ）を含む系である実施例１０と⽐較例２との⽐較においても、アミノ酸を含む実施 例１０は、⽐較例２と同等の表⾯粗さを維持し、且つ、⽐較例２よりも研磨速度及び形状 悪化量が⼤きく向上していることが分かる。また、ロールオフ量についても、アミノ酸を 含む実施例１０の研磨⽤組成物によれば、⽐較例２の研磨⽤組成物による場合よりも、ロ ールアップのウェーハが得られる傾向となっている。  アミノ酸及び⽔溶性⾼分⼦を含む実施例１０は、それらを含まない⽐較例１と⽐較して 、研磨速度を維持して表⾯粗さを著しく改善し、形状悪化量を⼤きく改善できることが分 かる。  また、アミノ酸を含むが⽔溶性⾼分⼦を含まない実施例２と、アミノ酸及び⽔溶性⾼分 ⼦を含む実施例１０とを⽐較すると、研磨⽤組成物が⽔溶性⾼分⼦を含むことにより、表 ⾯粗さ及びロールオフ量が著しく⼩さくなっていることが分かる。つまり、⽔溶性⾼分⼦ は、研磨速度、形状悪化量を許容範囲で維持して表⾯粗さを著しく改善できる。このこと から、ウェーハの端⾯の形状を制御するためには、研磨⽤組成物に配合する⽔溶性⾼分⼦ の種類及び量を適宜調整し、要求される性能に応じた研磨⽤組成物とすることが考えられ る。  無機アルカリ化合物として２種類（⽔酸化カリウム及び炭酸カリウム）を配合した実施 例２と、１種類（⽔酸化カリウム）を配合した実施例３とを⽐較すると、研磨速度、表⾯ 粗さ、形状悪化量は同程度の結果である⼀⽅、ロールオフ量においては、無機アルカリ化 合物が１種類の場合には増加していることが分かる。  無機アルカリ化合物を２種類配合した系において、⽔酸化カリウムと炭酸カリウムの配 合割合を変化させる場合について検討する。⽔酸化カリウムの配合量が炭酸カリウムより も多い（ＫＯＨ＞Ｋ ２ ＣＯ ３ ）実施例１及び実施例２は、炭酸カリウムの配合量が⽔酸化 カリウムよりも多い（ＫＯＨ＜Ｋ ２ ＣＯ ３ ）実施例５及び実施例６と⽐較して、研磨速度 を維持して、表⾯粗さ及び形状悪化量を⼤きく向上できる。したがって、⽔酸化カリウム の配合量は、炭酸カリウムの配合量よりも多いことが好ましい。  ⽔酸化カリウムの配合量は、炭酸カリウムの配合量よりも多いことが好ましい理由とし ては、以下が考えられる。炭酸カリウムは⽔酸化カリウムよりも砥粒が凝集しやすい性質 を有するので、ＫＯＨに⽐べＫ ２ ＣＯ ３ の配合量の⽐率が⼤きくなっていくと、砥粒が凝 集する傾向が強くなる。そのため、研磨⽤組成物の⻑期安定性も悪くなり、研磨性能（研 【００５８】 【００５７】 【００５６】 【００５５】 【００５４】 【００５３】 【００５２】