25  26  EP 2 000 008 B1 guides tournants étant adaptés pour soute- nir le substrat lorsqu’il change de direction ensedéplaçantversladeuxièmezonepré- curseur, et sième zone précurseur et disposés de façon à permettre au substrat de faire la navette entre les deuxième ettroisième zonesprécurseursen passant par la zone d’isolation. plusieurs deuxièmes guides tournants (66, 166, 366) espacés dans la deuxième zone précurseur, au moins certains des deuxiè- mes guides tournants étant adaptés pour soutenir le substrat lorsqu’il change de di- rection ensedéplaçantverslapremièrezo- ne précurseur. un premier dispositif d’alimentation en précur- seur (24, 124, 324) raccordé à la première zone précurseur pour alimenter lapremièrezonepré- curseur en premier gaz précurseur ; un deuxième dispositifd’alimentationen précur- seur(26, 126, 326) raccordé à ladeuxièmezone précurseur pour alimenter la deuxième zone précurseur en deuxième gaz précurseur ; et un dispositif d’alimentation en gaz inerte (28, 128, 328) raccordé à la zone d’isolation pour injecter un gaz inerte dans la zone d’isolation afin d’atteindre une pression dans lazone d’iso- lation supérieure aux pressions des zones pré- curseurs. une conduite d’évacuation (440) raccordée à une ou plusieurs des zones précurseurs et un piège à précurseur (59, 410, 420) situé dans la conduite d’évacuation. introduction d’un premier gaz précurseur dans une première zone précurseur (14, 114, 314) ; introductiond’undeuxième gazprécurseurdans une troisième zone précurseur (190) séparée des premièreetdeuxièmezonesprécurseurset dans laquelle un troisième gaz précurseur diffé- rent du premier et du deuxièmeest introduit lors de l’utilisation du dispositif ; untroisième diviseurséparantlatroisième zone précurseur de la zone d’isolation ; et une série detroisièmespassages(192) passant par le troisième diviseur et dans la troisième zo- ne précurseur à partir de la zone d’isolation, les troisièmes passages étant espacés sur la troi- une bobine débitrice (72, 172, 372) pour dérou- ler le substrat d’une bobine (74, 174, 374) pour réception à une première extrémité (76,376) de la zone d’isolation ; et une bobine réceptrice (74, 174, 374) pour em- bobiner le substrat reçu d’une deuxième extré- mité (84, 384) de la zone d’isolation opposée à la première extrémité. 2. Le dispositif de la revendication 1, comprenant éga- lement un premier diviseur (34, 134, 334) séparant la zone d’isolation de la première zone précurseur et un deuxième diviseur (36, 136, 336) séparant la zone d’isolation de la deuxième zone précurseur et dans lequel les passages d’étranglement compren- nent une série de premiers passages (54, 154, 354) auniveaudu premier diviseur etune sériededeuxiè- mes passages(56, 156, 356) au niveau du deuxième diviseur. 3. Le dispositif de la revendication 1 ou 2, dans lequel au moins certains des premiers guides tournants sont montés de manière réglable dans la première zone précurseur pour le mouvement vers la zone d’isolation et dans la direction opposée à la zone d’isolation, afin d’ajuster la durée de séjour du subs- trat dans la première zone précurseur. 4. Le dispositif de n’importe laquelle des revendica- tions précédentes, dans lequel le mécanisme de transport du substrat comprend également : 5. Le dispositif de n’importe laquelle des revendica- tions précédentes, comprenant également : 6. Le dispositif de n’importe laquelle des revendica- tions précédentes, comprenant également : 7. Le dispositif de n’importe laquelle des revendica- tions précédentes, dans lequel au moins certains des passages sont équipés d’un tunnel. 8. Le dispositif de n’importe laquelle des revendica- tions précédentes, comprenant également : 9. Le dispositif de la revendication 8, comprenant éga- lement une conduite de recyclage (450) connectée entre le piège à précurseur et une ou plusieurs des zones précurseurs. 10. Le dispositif de n’importe laquelle des revendica- tions précédentes, comprenant également un géné- rateur de radicaux permettant de transmettre un ra- dical de précurseur à une ou plusieurs des zones précurseurs. 11. Le dispositif de n’importe laquelle des revendica- tions précédentes, dans lequel au moins certains des guides tournants comprennent un rouleau chauffé. 12. Un procédé de dépôt d’un film mince sur un substrat flexible(12, 112, 312), se composant des opérations suivantes : 14