23  EP 2 000 008 B1 24  Reihe strömungsbeschränkender Durchgangs- wege (54, 56, 154, 156, 354, 356) eines Isolie- rungsbereichs(20,120, 320), der zwischenden ersten und zweiten Vorläuferbereich zwischen- gefügt ist, so dass das Substrat mehrere Male durch denersten und zweiten Vorläuferbereichs hindurchgeht, eineMonoschicht deserstenVor- läufergases während des Übergangs des Sub- strats durch den ersten Vorläuferbereich an die Oberfläche des Substrats adsorbiert und das zweite Vorläufergas während eines anschlie- ßenden Übergangs des Substrats durch den zweiten Vorläuferbereich mit dem adsorbierten ersten Vorläufer an der Oberfläche des Sub- stratsreagiert, um  dadurch  eine dünneSchicht auf dem Substrat abzuscheiden; Einleiten eines Inertgasesin denIsolierungsbe- reich; und Erzeugen eines ersten Druckunterschieds zwi- schen dem Isolierungsbereich und dem ersten Vorläuferbereich sowie eines zweiten Druckun- terschieds zwischen dem Isolierungsbereich und dem zweiten Vorläuferbereich, wobei die Druckunterschiede ausreichen, um eine Wan- derung des ersten und zweiten Vorläufergases aus dem jeweiligen ersten und zweiten Vorläu- ferbereich zu verhindern, und Vermischen des ersten undzweiten Vorläufergases ineinem der Bereiche, wodurch Reaktionen in den Berei- chen zwischen nicht-adsorbierten Mengen des ersten und zweiten Vorläufergases verhindert werden. plusieurs premiers guides tournants (64, 164, 364) espacés dans la première zone précurseur, au moinscertainsdes premiers une première zone précurseur (14, 114, 314) dans laquelle un premier gaz précurseur est in- troduit lors de l’utilisation du dispositif ; une deuxième zone précurseur (16, 116, 316) dans laquelle un deuxième gaz précurseur dif- férentdupremier estintroduit lorsdel’utilisation du dispositif ; une zone d’isolation (20, 120, 320) interposée entre les première et deuxième zones précur- seurs et dans laquelleun gazinerte est introduit lors de l’utilisation du dispositif, la zone d’isola- tion comprenantune sériede passages d’étran- glement (54, 56, 154, 156, 354, 356) s’ouvrant dans les première et deuxième zones précur- seurs et disposés de façon à guider le substrat flexible (12, 112, 312) en navette, afin qu’il tra- verse les première et deuxième zones précur- seurs à plusieurs reprises et à chaque fois en passant par la zone d’isolation ; et un mécanisme de transport du substrat (60, 360), comprenant : Ausstoßen einer Strömung des ersten Vorläu- fergases aus dem ersten Vorläuferbereich; und Einfangen zumindest eines Teils des ausgesto- ßenen ersten Vorläufergases. 18. Verfahren nach Anspruch 17, weiterhin umfassend das Rückführen des gefangenen ersten Vorläufer- gases in den ersten Vorläuferbereich. 19. Verfahren nach irgendeinem der Ansprüche 12 bis 18, weiterhin umfassend das Beheizen zumindest einesvondemerstenund zweitenVorläuferbereich. 20. Verfahren nach irgendeinem der Ansprüche 12 bis 19, weiterhin umfassend das Beheizen des Sub- strats. 21. Verfahren nach irgendeinem der Ansprüche 12 bis 20, weiterhin umfassend das Einleiten eines Radi- kals in zumindest einen der Vorläuferbereiche. 22. Verfahren nach irgendeinem der Ansprüche 12 bis 21, bei dem der erste Vorläuferbereich, der zweite Vorläuferbereich und der Isolierungsbereich unge- fähr bei Atmosphärendruck arbeiten. 1. Un dispositif (10, 110, 310) de dépôt d’un film mince sur unsubstrat flexible (12, 112,312), se composant de ce qui suit : 13. VerfahrennachAnspruch12, weiter umfassenddas Führen des Substrats durch einen dritten Vorläufer- bereich (190), in den ein drittes Vorläufergas, das sich von dem zweiten Vorläufergas unterscheidet, eingeleitet wird. 14. Verfahrennach irgendeinemder Ansprüche12oder 13, bei dem das Erzeugen der Druckunterschiede das Einspritzen des Inertgases in die Durchgangs- wege einschließt. 16. Verfahren nach irgendeinem der Ansprüche 12 bis 15, weiterhin umfassend das Einstellen einer Länge zumindesteiniger der Durchgänge durchden ersten Vorläuferbereich. 17. Verfahren nach irgendeinem der Ansprüche 12 bis 16, weiter umfassend: 15. Verfahren nach irgendeinem der Ansprüche 12 bis 14, beidemdas FührendesSubstratsrückwärts und vorwärtszwischendemerstenunddemzweitenVor- läuferbereich das ununterbrochene Vorschiebe n des Substrats entlang eines gewundenen Transport- wegs einschließt. Revendications 13