(4) JP 2017-66264 A 2017.4.6 アルカリ化合物の配合量を増加してもｐＨが⾼くなりにくく、砥粒が溶けるのを抑制する ことができる。  無機アルカリ化合物として、⽔酸化カリウムと炭酸カリウムを配合する場合、研磨⽤組 成物の⻑期安定性の観点からは、無機アルカリ化合物に対する炭酸カリウムの割合が８０ 重量％未満であることが好ましく、７０重量％未満であることがより好ましい。  砥粒としては、この分野で常⽤されるものを使⽤でき、例えば、コロイダルシリカ、ヒ ュームドシリカ、コロイダルアルミナ、ヒュームドアルミナ、酸化セリウム、炭化ケイ素 、窒化シリコン等が挙げられる。これらのうち、砥粒としては、コロイダルシリカが好適 に⽤いられる。  キレート剤としては、例えば、アミノカルボン酸キレート剤および有機ホスホン酸系キ レート剤が挙げられる。アミノカルボン酸キレート剤には、エチレンジアミン四酢酸（Ｅ ＤＴＡ）、エチレンジアミン四酢酸ナトリウム、ヒドロキシエチレンジアミン三酢酸（Ｈ ＥＤＴＡ）、ヒドロキシエチルエチレンジアミン三酢酸ナトリウム、ジエチレントリアミ ン５酢酸（ＤＴＰＡ）、ジエチレントリアミン五酢酸ナトリウム、トリエチレンテトラミ ン六酢酸、トリエチレンテトラミン六酢酸ナトリウム、ニトリロ三酢酸（ＮＴＡ）、ニト リロ三酢酸ナトリウム、ニトリロ三酢酸アンモニウム、およびトリエチレントリアミン五 酢酸（ＴＴＨＡ）などが含まれる。有機ホスホン酸系キレート剤には、２−アミノエチル ホスホン酸、１−ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸、アミノトリ（メチレン ホスホン酸）、エチレンジアミンテトラキス（メチレンホスホン酸）、ジエチレントリア ミンペンタ（メチレンホスホン酸）、エタン−１，１−ジホスホン酸、エタン−１−ヒド ロキシ−１，１，２−トリホスホン酸、エタン−１，２−ジカルボキシ−１，２−ジホス ホン酸、メタンヒドロキシホスホン酸、および２−ホスホノブタン−１，２−ジカルボン 酸などが含まれる。  研磨⽤組成物ＣＯＭＰは、この他、アミン等の有機アルカリ化合物、ｐＨ調整剤、界⾯ 活性剤等の、研磨⽤組成物の分野で⼀般に知られた配合剤を任意に配合することができる 。  研磨⽤組成物ＣＯＭＰは、アミノ酸、無機アルカリ化合物、キレート剤、砥粒、及びそ の他の配合材料を適宜混合して⽔を加えることによって作製される。あるいは、研磨⽤組 成物ＣＯＭＰは、アミノ酸、無機アルカリ化合物、キレート剤、砥粒、及びその他の配合 材料を、順次、⽔に混合することによって作製される。これらの成分を混合する⼿段とし ては、ホモジナイザー、および超⾳波等、研磨⽤組成物の技術分野において常⽤される⼿ 段が⽤いられる。  以上説明した研磨⽤組成物ＣＯＭＰは、適当な濃度となるように⽔（例えば、脱イオン ⽔）で希釈した後、シリコンウェーハの研磨処理に⽤いられる。  研磨⽤組成物ＣＯＭＰにおいて、無機アルカリ化合物を２種類配合することは、必須の 構成ではない。研磨⽤組成物ＣＯＭＰに配合された無機アルカリ化合物が１種類の場合で も、ウェーハの表⾯粗さ、及びウェーハの形状を低下させることなく、優れた研磨速度で 研磨することができる。 【実施例】  以下、実施例を⽤いて本発明を詳細に説明する。   （研磨⽤組成物） 【００２４】 【００２３】 【００２２】 【００２１】 【００２０】 【００１９】 【００１８】 【００１７】 【００１６】