(3) JP 2017-66264 A 2017.4.6 ハ表⾯の特性が低下する虞がある。  そこで、この発明は、ウェーハの表⾯粗さ、及びウェーハの形状を低下させることなく 、優れた研磨速度で研磨可能な研磨⽤組成物の提供を⽬的とする。 【課題を解決するための⼿段】  上記の課題を解決する本発明の研磨⽤組成物は、アミノ酸と、無機アルカリ化合物と、 キレート剤と、砥粒と、を含む。  本発明によれば、研磨⽤組成物がアミノ酸、無機アルカリ化合物、キレート剤及び砥粒 を含むので、ウェーハの表⾯粗さ、及びウェーハの形状を低下させることなく、優れた研 磨速度での研磨を実現することができる。 【発明の効果】 【図⾯の簡単な説明】 【図１】図１（ａ）は、研磨後のウェーハのロールアップの状態を⽰すウェーハの断⾯図 であり、図１（ｂ）は、研磨後のウェーハのロールオフの状態を⽰すウェーハの断⾯図で ある。 【発明を実施するための形態】  この発明の実施の形態による研磨⽤組成物ＣＯＭＰは、アミノ酸と、無機アルカリ化合 物と、キレート剤と、砥粒とを含む。研磨⽤組成物ＣＯＭＰは、シリコンウェーハの研磨 に⽤いられる。  アミノ酸としては、正電荷または負電荷を有する荷電アミノ酸が好ましい。荷電アミノ 酸としては、例えば、アスパラギン酸（Ａｓｐ）、グルタミン酸（Ｇｌｕ）、アルギニン （Ａｒｇ）、リシン（Ｌｙｓ）、ヒスチジン（Ｈｉｓ）等が挙げられる。これらの中でも 、アミノ酸としては、アルギニン、リシン、ヒスチジン等の塩基性アミノ酸が好ましい。 アミノ酸としては、これらのうち１種類を単独で⽤いてもよく、２種類以上を併⽤しても よい。荷電アミノ酸の配合量は、２．０重量％以下が好ましく、１．５重量％以下がより 好ましい。荷電アミノ酸の配合量が２．０重量％より⼤きいと、ｐＨが⼤きくなり、砥粒 の溶解する虞がある。  無機アルカリ化合物としては、例えば、アルカリ⾦属またはアルカリ⼟類⾦属元素の⽔ 酸化物、その炭酸塩またはその炭酸⽔素塩等が挙げられる。具体的には、無機アルカリ化 合物としては、炭酸カリウム、⽔酸化カリウム、⽔酸化ナトリウム、炭酸⽔素ナトリウム 、炭酸ナトリウム、炭酸⽔素カリウム、炭酸⽔素ナトリウム等が挙げられる。  無機アルカリ化合物の配合量は、２．５重量％以下が好ましく、２重量％以下がより好 ましい。無機アルカリ化合物の配合量が２．５重量％より⼤きいと、研磨⽤組成物の⻑期 安定性が悪くなり、砥粒が凝集しやすくなる虞がある。  無機アルカリ化合物としては、１種類を単独で⽤いても、２種類以上を併⽤してもよい が、２種類を併⽤することが好ましい。配合する２種類の無機アルカリ化合物の組として は、例えば、⽔酸化カリウム及び炭酸カリウムが好ましい。  炭酸カリウムは⽔酸化カリウムよりも砥粒が凝集しやすい性質を有するので、無機アル カリ化合物として⽔酸化カリウムを含んでいることが好ましい。また、無機アルカリ化合 物として、⽔酸化カリウムに加えて、炭酸カリウムを配合することにより、⽔酸化カリウ ムの配合量を増加しても、電離平衡が移動し、ｐＨの変化が抑制される。そのため、無機 【００１５】 【００１４】 【００１３】 【００１２】 【００１１】 【００１０】 【０００９】 【０００８】 【０００７】 【０００６】