JP 2017-66264 A 2017.4.6 【課題】ウェーハの表⾯粗さ、及びウェーハの形状を低下させることなく、優れた研磨速 度で研磨可能な研磨⽤組成物の提供。 【解決⼿段】アミノ酸と、無機アルカリ化合物と、キレート剤と、砥粒と、を含む研磨⽤ 組成物。好ましくは、研磨⽤組成物中のアミノ酸は、塩基性荷電アミノ酸であり、Ｌ−ア ルギニン、Ｌ−リシン塩酸塩、またはＬ−ヒスチジンである研磨⽤組成物。好ましくは、 研磨⽤組成物中に、無機アルカリ化合物が２種類配合されており、⽔酸化カリウム及び炭 酸カリウムであり、好ましくは、更に、⽔溶性⾼分⼦を含む研磨⽤組成物。 【選択図】なし BARR RAR PROM OL 7 EIR) DAHER EA (19) ARESETFT (JP) (11) SRA eS (43) SBA SERR29ZEAAGE (2017.4.6) (51) Int.Cl. COOK 3/14 (2006. 01) HO1L 21/304 (2006.01) B24B 37/00 (2012, 01) CogG 18 (2006. 01) (71) HERA 000116127 ZY B+ N— ARASH APRA RR RRR RI 4 TA4B265 (TATRA 100104444 Er LT SH (74) EBA 100112715 Er Bu ER (TATRA 100125704 FELL WR el (72) AAS A WE Rea RaQZHH awa 3S-17-1 = YR N-ARASH TEILEN (72) BAS eRe Ramesh awa S-17-1 = YR N-ARASH PRL BERS Brit ¢ (664) [RHOZM) MERRY (57)【要約】   （修正有） 2) Hees 425 2015-192833 (P2015-192833) (22) HERA 37 A&274F9 A 308 (2015. 9. 30) 45B42017-66264 (P2017-66264A) 550Z 622D H F-ra-R (5%) 30158 5F057 Fl CO9K HOLL B24B CO9G 3/14 21/304 37/00 1/02