(5) JP 2017-66264 A 2017.4.6  以下の実施例１〜実施例１０及び⽐較例１〜⽐較例２の研磨⽤組成物を作製した。  実施例１の研磨⽤組成物は、６．０重量％のコロイダルシリカ、１．００重量％の⽔酸 化カリウム（ＫＯＨ）、０．５０重量％の炭酸カリウム（Ｋ ２ ＣＯ ３ ）、０．０２重量％ のジエチレントリアミン五酢酸（ＤＴＰＡ）、及び０．５重量％のＬ−アルギニン（Ａｒ ｇ）を⽔に配合して全体で１００重量％としたものである。なお、コロイダルシリカとし ては、ＢＥＴ法による平均⼀次粒⼦径が３５ｎｍ、平均⼆次粒⼦径が７０ｎｍの砥粒を⽤ いた。⽔酸化カリウム及び炭酸カリウムは、無機アルカリ化合物として配合した。ＤＴＰ Ａは、キレート剤として配合した。ここで⽰す「重量％」は、研磨⽤組成物（原液）全体 に対する重量％を⽰す。以下の実施例及び⽐較例においても同様である。  この研磨⽤組成物（原液）を脱イオン⽔で１０倍希釈し、研磨液としてウェーハの研磨 を⾏った。  実施例２の研磨⽤組成物（原液）は、Ｌ−アルギニンの配合量を１．０重量％としたこ とを除いて、実施例１と同⼀の組成を有する。  実施例３の研磨⽤組成物（原液）は、炭酸カリウムを配合しないことを除いて、実施例 ２と同⼀の組成を有する。  実施例４の研磨⽤組成物（原液）は、⽔酸化カリウムの配合量を０．６２重量％とし、 さらに、炭酸カリウムの配合量を０．８８重量％としたことを除いて、実施例２と同⼀の 組成を有する。ただし、⽔酸化カリウムの配合量と⽔酸化カリウムの配合量の合計は、実 施例２と同じである。  実施例５〜実施例７の研磨⽤組成物（原液）は、Ｌ−アルギニンの配合量をそれぞれ０ ．５重量％、１．０重量％、及び１．５重量％としたことを除いて、実施例４と同⼀の組 成を有する。  実施例８及び実施例９の研磨⽤組成物（原液）は、Ｌ−アルギニンの代わりに、それぞ れ、０．５重量％のＬ−リシン塩酸塩（Ｌｙｓ塩酸塩）及び０．５重量％のＬ−ヒスチジ ン（Ｈｉｓ）を配合したことを除いて、実施例５と同⼀の組成を有する。  実施例１０の研磨⽤組成物（原液）は、実施例２の研磨⽤組成物に、さらに、０．００ ５重量％のポロキサミン（エチレンジアミンテトラポリオキシエチレンポリオキシプロピ レン）及び０．０１０重量％のヒドロキシエチルセルロース（ＨＥＣ）を配合したことを 除いて実施例２と同⼀の組成を有する。なお、ポロキサミンとしては、エチレンオキシド とプロピレンオキシドの質量⽐ＥＯ／ＰＯが、ＥＯ／ＰＯ＝４０／６０であり、分⼦量が ６９００であるものを⽤いた。ＨＥＣの重量平均分⼦量は８０００００であった。  ⽐較例１の研磨⽤組成物（原液）は、Ｌ−アルギニンを配合しないことを除いて実施例 ４と同⼀の組成を有する。  ⽐較例２の研磨⽤組成物（原液）は、Ｌ−アルギニンを配合しないことを除いて実施例 １０と同⼀の組成を有する。   （研磨の⽅法）  実施例１〜実施例１０及び⽐較例１〜⽐較例２の研磨⽤組成物原液を２０倍に希釈して 、以下の条件でシリコンウェーハの研磨を⾏った。研磨装置（ＳＰＰ８００Ｓ⽚⾯研磨機 、岡本⼯作機械製作所製）を⽤い、スエードからなる研磨パッドに研磨⽤組成物を０．６ 【００３５】 【００３３】 【００３４】 【００３２】 【００３１】 【００３０】 【００２９】 【００２８】 【００２７】 【００２６】 【００２５】