21  EP 2 000 008 B1 22  ferbereichsbeabstandetsind, wobeizumin- dest einige der zweiten Wendeführungen dazu ausgelegtsind, das Substratwährend einer Änderung der Bewegungsrichtu ng des Substrats in Richtung des ersten Vor- läuferbereichs zu stützen. eine Ausgabespule (72, 172, 372) zum Ausge- ben des Substrats von einer Spule (74, 174 , 374) zum Empfang an einem ersten Ende (76, 376) des Isolierungsbereichs, und eineAufnahmespule (74,174,374) zumAufwik- kelndesSubstrats,dasvon einemzweiten Ende (84, 384) des Isolierungsbereichs gegenüber dem ersten Ende empfangen wird. einen dritten Vorläuferbereich (190), der von dem ersten und zweiten Vorläuferbereich ge- trenntist und inden eindrittesVorläufergas, das sich von dem ersten und zweiten Vorläufergas unterscheidet, eingeleitet wird, wenn das Sy- stem in Gebrauch ist; einen dritten Teiler, der dendrittenVorläuferbe- reich von dem Isolierungsbereich trennt; und eine Reihe dritter Durchgangwege (192), die sich aus dem Isolierungsbereich durch den drit- ten Teiler undin den dritten Vorläuferbereicher- strecken, wobei die dritten Durchgangswege entlang des Vorläuferbereichsbeabstandetund soangeordnet sind, dassdasSubstratdurchsie hindurchzwischendem zweiten unddritten Vor- läuferbereich und durch den Isolierungsbereich rückwärts und vorwärts eingezogen wird. Einleiten eines ersten Vorläufergases in einen ersten Vorläuferbereich (14, 114, 314); Einleiten eines zweiten Vorläufergases in einen zweiten Vorläuferbereich (16,116, 316), der von dem ersten Vorläuferbereich beabstandet ist, wobeisichdas zweite Vorläufergasvondem er- sten Vorläufergas unterscheidet; Führen eines flexiblen Substrats (12, 112, 312) rückwärts und vorwärts zwischen dem ersten und zweiten Vorläuferbereich und durch eine eineAbgasleitung(440), die an einen oder meh- rere der Vorläuferbereiche angeschlossen ist; und eine Vorläuferfalle (59, 410, 420), die sich in der Abgasleitung befindet. ein erstes Vorläuferzufuhrsystem (24, 124, 324), das mit dem ersten Vorläuferbereich ge- koppelt ist, umdem ersten Vorläuferbereich das erste Vorläufergas zuzuführen; ein zweites Vorläuferzufuhrsystem (26, 126, 326), das mit dem zweiten Vorläuferbereich ge- koppelt ist, um dem zweiten Vorläuferbereich das zweite Vorläufergas zuzuführen; und ein Inertgaszufuhrsystem(28, 128, 328), dasmit demIsolierungsbereich gekoppelt ist, umin den Isolierungsbereich ein Inertgas einzuspritzen, so dassein Druck imIsolierungsbereicherreicht wird, der größer als Drücke in den Vorläuferbe- reichen ist. 2. Systemnach Anspruch1,weiterhin mit einem ersten Teiler (34, 134, 334),der den Isolierungsbereichvon dem ersten Vorläuferbereich trennt, undeinem zwei- ten Teiler (36, 136, 336), der den Isolierungsbereich von dem zweiten Vorläuferbereich trennt, und bei dem die strömungsbeschränkenden Durchgangs- wege eine Reihe erster Durchgangswege (54, 154, 354) durch den ersten Teiler und eine Reihe zweiter Durchgangswege (56, 156, 356) durch den zweiten Teiler einschließen. 3. Systemnach Anspruch1 oder 2,beidem zumindest einige der ersten Wendeführungen in dem ersten Vorläuferbereich für eine Bewegung zu dem Isolie- rungsbereich und vondiesemweg verstellbar ange- bracht sind, um  dadurch  eine Verweilzeit des Sub- strats im ersten Vorläuferbereich einzustellen. 4. System nach irgendeinem vorhergehenden  An- spruch, bei dem der Substrattransportmechanismus weiterhin Folgendes umfasst: 5. System nach irgendeinem vorhergehenden  An- spruch, weiter umfassend: 7. System nach irgendeinem vorhergehenden An- spruch, bei dem zumindest einige der Durchgangs- wege einen Tunnel einschließen. 8. System nach irgendeinem vorhergehenden An- spruch, weiterhin umfassend: 9. System nach Anspruch 8, weiterhin mit einer Rück- führleitung (450), die zwischen der Vorläuferfalle und einem oder mehrerender Vorläuferbereichean- geschlossen ist. 10. System nach irgendeinem vorhergehenden An- spruch, weiterhin mit einem Radikalbildner zum Zu- führen eines Vorläuferradikals zu einem oder meh- reren der Vorläuferbereiche. 11. System nach irgendeinem vorhergehenden An- spruch, bei demzumindest einige der Wendeführun- gen eine beheizbare Walze einschließen. 12. Verfahren zum Abscheiden einer dünnen Schicht auf einem flexiblen Substrat (12, 112, 312), umfas- send: 6. System nach irgendeinem vorhergehenden An- spruch, weiter umfassend: 12