27  EP 2 000 008 B1 28  une deuxième zone précurseur (16, 116, 316) espacée de la première, le deuxième gaz pré- curseur étant différent du premier ; guidage d’un substrat flexible (12, 112, 312) se- lon un mouvement de navette entreles première etdeuxième zones précurseurs,enpassant par une série de passages d’étranglement (54, 56, 154, 156, 354, 356) d’une zone d’isolation (20, 120, 320) interposée entre les première deuxièmezones précurseurs, defaçon à ce que le substrat traverse les première et deuxième zones précurseurs plusieurs fois, qu’unemono- couche du premier gaz précurseur adsorbe à la surface du substrat pendant le transit du subs- trat dans la première zone précurseur et que, pendant un transit ultérieur du substrat dans la deuxième zone précurseur, le deuxième gaz précurseur réagisse avec le premier précurseur adsorbéàla surface du substratafinde déposer un film mince sur le substrat ; introduction d’un gaz inerte dans la d’isolation ; et créationd’un premier différentieldepressionen- tre la zone d’isolation et la première zone pré- curseur et d’un deuxième différentiel de pres- sion entre la zone d’isolation et la deuxième zo- neprécurseur, lesdifférentielsdepressionétant suffisants pour empêcher la migration des pre- mieretdeuxième gaz précurseurshorsdes pre- mière et deuxième zones précurseurs respecti- ves et le mélange des premier et deuxième gaz précurseurs dans une des zones, ce qui empê- che les réactions à l’intérieur des zones entre les quantités non-adsorbées des premier deuxième gaz précurseurs. 12 à 16, qui suppose également de faire sortir un flux de premier gaz précurseur de la première zone précurseur et de piéger au moins une partie du pre- mier gaz précurseur ainsi évacué. 13. Leprocédé de larevendication 12, quisupposeéga- lement de guider le substratdansunetroisième zone précurseur (190) danslaquelle un troisième gazpré- curseur différent du deuxième est introduit. 14. Leprocédé de n’importelaquelle des revendications 12 ou 13, dans lequel la création des différentiels de pression suppose d’injecter le gaz inerte dans les passages. 15. Leprocédé de n’importelaquelle des revendications 12 à 14, dans lequel le guidage du substrat en na- vette entre les première et deuxième zones précur- seurs suppose de faire avancer continuellement le substrat sur un trajet de transport ondulé. 16. Leprocédé de n’importelaquelle des revendications 12 à 15, qui suppose également d’ajuster une lon- gueur d’au moins certains des transits dans la pre- mière zone précurseur. 17. Leprocédé de n’importelaquelle des revendications 18. Leprocédé de larevendication 17, quisupposeéga- lement de recycler le premier gaz précurseur piégé dans la première zone précurseur. 19. Leprocédé de n’importelaquelle des revendications 12 à 18, qui suppose également de chauffer moins une des première et deuxième zones précur- seurs. 20. Leprocédé de n’importelaquelle des revendications 12à 19,qui suppose égalementde chauffer lesubs- trat. 21. Leprocédé de n’importelaquelle des revendications 12 à 20, qui suppose également d’introduire un ra- dical dans au moins une des zones précurseurs. 22. Leprocédé de n’importelaquelle des revendications 12 à 21, dans lequel la première zone précurseur, la deuxième zone précurseur et la zone d’isolation fonctionnent aux pressions atmosphériques ap- proximativement. 15