MEMS (माइक्रोइलेक्ट्रिकल-मैकेनिकल सिस्टम) (MicroElectrical-Mechanical System) माइक्रोफोन को एक माइक्रोफोन चिप या सिलिकॉन माइक्रोफोन भी कहा जाता है। MEMS तकनीकों के द्वारा एक दाब-संवेदी मध्यपट को सीधे एक सिलिकॉन चिप पर उकेरा जाता है और सामान्यतः इसके साथ एक एकीकृत पूर्व-प्रवर्धक भी जुड़ा होता है। अधिकांश MEMS माइक्रोफोन संघनित्र माइक्रोफोन डिज़ाइन के विभिन्न प्रकार होते हैं। अक्सर MEMS माइक्रोफोनों में एक अंतर्निर्मित एनालॉग-से-डिजिटल रूपांतरक (Analog-to-Digital Converter [ADC]) परिपथ समान CMOS चिप पर लगा हुआ होता है, जिससे वह चिप एक डिजिटल माइक्रोफोन बन जाती है और इसलिये इसे आधुनिक डिजिटल उत्पादों के साथ बेहतर तरीके से एकीकृत किया जा सकता है। MEMS सिलिकॉन माइक्रोफोनों का उत्पादन करने वाले प्रमुख उत्पादक वॉल्फसन माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स (Wolfson Microelectronics) (WM7xxx), एनालॉग डिवाइसेस (Analog Devices), एकुस्टिका (Akustica) (AKU200x), इन्फीनियॉन (Infoneon) (SMM310 उत्पाद), नोलेस इलेक्ट्रॉनिक्स (Knowles electronics), मेम्सटेक (Memstech) (MSMx), NXP सेमीकण्डक्टर्स (NXP Semiconductors), सॉनियन MEMS (Sonion MEMS), AAC एकॉस्टिक टेक्नोलॉजीज़ (AAC Acoustic Technologies) और ऑमरोन (Omron) हैं।

MEMS माइक्रोफोन
ब्लिंप
इलेक्ट्रेट संघनित्र माइक्रोफोन
प्रतिबाधा-मिलान