आई.आई.टी. - बी.एच.यू. वाराणसी को पहले बनारस इंजीनियरिंग कॉलेज (BENCO), खनन और धातुकर्म (MINMET), प्रौद्योगिकी कॉलेज (TECHNO) और प्रौद्योगिकी संस्थान, काशी हिन्दू विश्वविद्यालय (आईटी बीएचयू) के नाम से जाना जाता था। इसकी स्थापना काशी हिन्दू विश्वविद्यालय के साथ हुई थी। काशी हिन्दू विश्वविद्यालय का प्रथम दीक्षांत समारोह १९ जनवरी १९१९ को आयोजित किया गया था। इस समारोह के मुख्य अतिथि महाराज कृष्णराज वोडेयार चतुर्थ थे जिन्होने इस पावन अवसर पर बनारस इंजिनियरिंग कॉलेज की कार्यशाला की इमारतों का उद्घाटन किया था|११ फ़रवरी १९१९ को कारीगरी के एक कोर्स की शुरुआत की गयी| बी.एच.यू. को वैद्युत अभियांत्रिकी, यांत्रिक अभियांत्रिकी, धातुकर्म अभियांत्रिकी एवं भैषजीकी में सर्वप्रथम डिग्री कक्षायों की शुरुआत करने का श्रेय जाता है। ये महामना मालवीय जी की दूरदृष्टि का परिणाम था। 

भूविज्ञान विभाग 1920 में बनारस इंजिनियरिंग कॉलेज के तहत शुरू किया गया था|खनन और धातुकर्म के पाठ्यक्रम की शूरूआत भूविज्ञान विभाग द्वारा की गयी। जुलाई १९२१ में औद्योगिक रसायन विज्ञान विभाग शुरू हुआ। १९२३ में खनन और धातुकर्म को एक विभाग के रूप में इस्थापित किया गया, १९४४ में इसको कॉलेज का दर्जा दिया गया और इसका नाम बदल कर MINMET हो गया।

बी.एच.यू. ने भारत में सर्वप्रथम रसायनिक भैषजीकी में पाठ्यक्रम की शुरुआत की। १९३२ में विज्ञान के स्नातक पाठ्यक्रम में तीन नये विषयों के एक वर्ग को सम्मिलित किया गया। यह तीन विषय थे - रसायन विज्ञान, भैशजिकी और पादप फार्माकोग्नॉसी. १९३५ में त्री-वर्षीय भेषजी स्नातक नामक पाठ्यक्रम का शुभारम्भ हुआ। इस समय विज्ञान विभाग सेंट्रल हिन्दू स्कूल के अन्तर्गत आता था। सितम्बर १९३५ में एक नये विज्ञान कॉलेज की नींव डाली गयी। इस कॉलेज में भौतिकी, रसायन विज्ञान, पादपविज्ञान, जीवविज्ञान, भूविज्ञान, औद्योगिक रसायनिकी और सिरेमिक्स एत्यादी विभाग थे। १९३७ में काँच प्रौद्योगिकी को इस कॉलेज में सम्मिलित किया गया। १९३९ में औद्योगिक रसायनिकी, सिरेमिक्स, काँच प्रौद्योगिकी और भैषजीकी विघाग को मिलाकर एक अलग प्रोद्यौगिकी कॉलेज की स्थापना की गयी। 

भारतीय प्रौद्योगिकी संस्थान में रूपांतरण
अंतःविषय विद्यालय
इतिहास
छात्रावास