हालांकि शब्द "नास्तिवाद" को पहली बार उपन्यासकार "इवान टर्जनेव" (1818-1883) के उपन्यास "फादर्स एंड संस" के द्वारा प्रसिद्धि मिली थी, इसकी शुरुआत फ्रेडरिक हेनरिक जैकोबी (1743-1819) द्वारा दार्शनिक लेख के रूप में की गयी थी। जैकोबी ने इस शब्द को बुद्धिवादके लिए और विशेष रूप से इम्मानुअल कांत के "आलोचनात्मक" दर्शनशास्त्र के बेतुकेपन (लैटिन भाषा में reductio ad absurdom) को ख़त्म करने के लिए प्रयुक्त किया, जिसके अनुसार सभी प्रकार के बुद्धिवाद (आलोचना के रूप में दर्शनशास्त्र) नास्तिवाद में कम हो जाते हैं और इस प्रकार इससे बचा जाना चाहिए तथा इसे किसी प्रकार की श्रद्धा तथा रहस्योद्घाटन से बदला जाना चाहिए. उदाहरण के लिए, ब्रेट डब्ल्यू डेविस लिखते हैं, "नास्तिवाद के दार्शनिक विकास के विचार को शुरू करने के आमतौर पर फ्रेडरिक जैकोबी को जिम्मेदार माना जाता है, जिन्होनें एक प्रसिद्ध पात्र में फिशे के आदर्शवाद के नास्तिवाद के रूप में बदलने की आलोचना की है। जैकोबी के अनुसार, फिशे की अहं की पूर्णता ('केवल मैं' जो 'मैं-नहीं' का स्थान लेता है) एक प्रकार के मनोवाद का बढ़ावा देती है जो पूरी तरह से ईश्वर की श्रेष्ठता को नकारती है। एक संबंधित अवधारणा अन्तर्निहित विश्वासवाद है।

टर्जनेव द्वारा "नास्तिवाद" को प्रसिद्धि दिलाने के बाद, एक नये रूसी राजनीतिक आंदोलन ने नास्तिवाद आन्दोलन के रूप में इस शब्द को अपनाया. वे संभवतः खुद को शून्यवादी (नाईलिस्ट) कहते थे चूंकि "कुछ भी नहीं" ने उनकी आँखों में एक सम्मान प्राप्त कर लिया था।

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19वीं सदी
आध्यात्मिक शून्यवाद
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