1970 के दशक के बाद से, नए सेमीकंडक्टर डिटेक्टरों को विकसित किया गया है (लिथियम युक्त सिलिकॉन या जर्मेनियम, एसआई (एलआई)/Si (Li) या जीई (एलआई)/Ge(Li)). एक्स-रे के फोटॉन को अर्धचालक में इलेक्ट्रॉन-छिद्र जोड़े में बदल दिया जाता है और एक्स-रे का पता लगाने के लिए इकठ्ठा किया जाता है। जब तापमान पर्याप्त रूप से कम हो जाता है (डिटेक्टर को पेल्टियर प्रभाव द्वारा या इससे भी ठन्डे तरल नाइट्रोजन द्वारा ठंडा किया जाता है), तब एक्स-रे ऊर्जा वर्णक्रम का प्रत्यक्ष निर्धारण करना संभव होता है; इस विधि को एनर्जी डिस्पर्सिव एक्स-रे स्पेक्ट्रोस्कोपी (ईडीएक्स/EDX या ईडीएस/EDS) कहा जाता है; इसका इस्तेमाल अक्सर छोटे एक्स-रे प्रतिदीप्ति स्पेक्ट्रोमीटर में किया जाता है। इन डिटेक्टरों को कभी-कभी "सॉलिड स्टेट डिटेक्टर" भी कहा जाता है। कैडमियम टेल्यूराइड (CdTe) आधारित डिटेक्टरों और जस्ता के मिश्रण से तैयार मिश्र धातु, कैडमियम जस्ता टेल्यूराइड, की संवेदनशीलता बहुत बढ़ जाती है जो एक्स-रे की कम मात्रा का इस्तेमाल करने की अनुमति प्रदान करती है।

चिकित्सीय चित्रण (मेडिकल इमेजिंग) में व्यावहारिक अनुप्रयोग की शुरुआत 1990 के दशक में हुई थी। वर्तमान में मैमोग्राफी और सीने की रेडियोग्राफी के लिए वाणिज्यिक विशाल क्षेत्र के फ़्लैट पैनल एक्स-रे डिटेक्टरों में आकारहीन सेलेनियम का इस्तेमाल किया जाता है। वर्तमान अनुसंधान और विकास, पिक्सेल डिटेक्टरों के इर्द-गिर्द केन्द्रित है, जैसे - सर्न (CERN) का ऊर्जा संकल्पक मेडिपिक्स डिटेक्टर.

ध्यान दें: एक एक्स-रे बीम में रखने पर एक मानक अर्धचालक डायोड, जैसे - 1N4007 विद्युत-प्रवाह की बहुत थोड़ी मात्रा उत्पन्न करेगा। चिकित्सीय चित्रण (मेडिकल इमेजिंग) सर्विस कर्मियों द्वारा एक बार इस्तेमाल किया गया एक परीक्षण उपकरण एक छोटा सा प्रोजेक्ट बॉक्स था जिसमें इस तरह के कई डायोड श्रृंखलाबद्ध रूप में निहित थे, जिसे एक शीघ्र निदान के रूप में एक ऑसिलोस्कोप से जोड़ा जा सकता था।

पारंपरिक अर्धचालक संरचना से उत्पन्न सिलिकॉन ड्रिफ्ट डिटेक्टर (एसडीडी (SDD)) अब एक लागत प्रभावी और उच्च संकल्पक शक्ति विकिरण माप प्रदान करते हैं। एसआई (एलआई)/Si (Li) जैसे पारंपरिक एक्स-रे डिटेक्टरों के विपरीत, इन्हें तरल नाइट्रोजन से ठंडा करने की जरूरत नहीं पड़ती है।

इवान पुल्युई
20वीं सदी और उसके बाद
डायरेक्ट सेमीकंडक्टर डिटेक्टर
विल्हेम रॉन्टगन