सुपर-विकास CVD (जल-समर्थित रासायनिक वाष्प जमाव) प्रक्रिया, केंजी हटा, सुमिओ लिजिमा और AIST, जापान के सह-कर्मचारियों द्वारा विकसित की गई थी। इस प्रक्रिया में, उत्प्रेरक की गतिविधियों और जीवन को CVD रिएक्टर में पानी मिलाकर बढ़ाया जाता है। मिलीमीटर-लंबा घना नैनोट्यूब "फ़ॉरेस्ट", सबस्ट्रेट से सामान्य संरेखित का उत्पादन किया गया। फ़ॉरेस्ट विकास दर को निम्न रूप में व्यक्त किया जा सकता है

इस समीकरण में, β प्रारंभिक विकास दर है और {\tau}_o विशेषता उत्प्रेरक आजीवन है।

उनकी विशिष्ट सतह 1,000 m/g (कैप्ड) से अधिक होती है या 2,200 m/g (अनकैप्ड), HiPco नमूनों के 400-1,000 m/g के मूल्य से अधिक. संश्लेषण कुशलता, लेज़र पृथक्करण पद्धति से करीब 100 गुना अधिक है। इस विधि से 2.5 mm ऊंचाई के SWNT फ़ॉरेस्ट बनाने के लिए आवश्यक समय 2004 में 10 मिनट था। उन SWNT फ़ॉरेस्ट को आसानी से उत्प्रेरक से अलग किया जा सकता है, आगे और शुद्धि के बिना साफ SWNT सामग्री उत्पादित की जा सकती है (शुद्धता> 99.98%). तुलना के लिए, जैसा कि विकसित HiPco CNTs में 5-35% धातु अशुद्धता शामिल होती है; इसलिए इसका शुद्धिकरण फैलाव और सेंट्रीफ्युगेशन के माध्यम से होता है जो नैनोट्यूब को नुकसान पहुंचाता है। सुपर-विकास प्रक्रिया इस समस्या से बचने की अनुमति देती है। पैटर्न युक्त उच्च आयोजित एकल-दीवार नैनोट्यूब की संरचनाओं को सुपर-विकास तकनीक का उपयोग कर सफलतापूर्वक गढ़ा गया।

सुपर-विकास CNTs का मास घनत्व करीब 0.037 g/cm है। यह पारंपरिक CNT पाउडर से (~1.34 g/cm) की तुलना में काफी कम है, शायद क्योंकि बाद वाले में धातु और रवाहीन कार्बन होते हैं।

सुपर-विकास पद्धति, मूल रूप से CVD का एक रूप है। इसलिए, SWNT, DWNTs और MWNTs वाली सामग्री का विकास करना और विकास की स्थिति की ट्यूनिंग द्वारा उनके अनुपात में परिवर्तन करना संभव है। उत्प्रेरक के पतलेपन द्वारा उनका अनुपात बदलता है। कई MWNTs को शामिल किया गया है ताकि ट्यूब का व्यास चौड़ा रहे। 

लम्बवत संरेखित नैनोट्यूब फ़ॉरेस्ट, एक "ज़िपिंग प्रभाव" से उत्पन्न होते हैं जब उन्हें एक विलायक में डुबाया और सुखाया जाता है। ज़िपिंग प्रभाव, विलायक के सतही तनाव और कार्बन नैनोट्यूब के बीच वान डेर वाल्स बलों के कारण होता है। यह नैनोट्यूब को एक घनी सामग्री में संरेखित करता है, जिसे प्रक्रिया के दौरान कमजोर संपीड़न लगा कर विभिन्न आकार में बनाया जा सकता है जैसे चादरें और सलाखें. घनत्व, विकर्स की कठोरता को 70 गुना बढ़ा देता है और घनत्व 0.55 g/cm है। पैक किये हुए कार्बन नैनोट्यूब, 1 mm से अधिक लंबे होते हैं और 99.9% या अधिक की कार्बन शुद्धता होती है, उनमें नैनोट्यूब फ़ॉरेस्ट के वांछनीय संरेखण गुण बरकरार रहते हैं।

सुपर-विकास CVD
गतिजन्य
विषाक्तता
एक आयामी परिवहन