प्रकृति के विभाजन में अणु परम या अंत है, विभाजन इससे आगे जा नहीं सकता। दिमाक्रीतस (Democritus) के अनुसार प्रत्येक अणु परिणाम और आकृति रखता है, परंतु इनमें किसी प्रकार का जातिभेद नहीं। यही ल्युसिपस का भी मत था। एंपिदोक्लोज ने पृथिवी, जल और अग्नि के अणुओं में जातिभेद देखा। अणुओं का संयोग वियोग गति पर निर्भर है और गति शून्य में ही हो सकती है। अभाज्य अणुओं के साथ प्राचीन अणुवाद ने शून्य के अस्तित्व को भी स्वीकार किया।

सुलभ और धर्मध्वज जनक का शास्त्रार्थ
आधुनिक विज्ञान और अणु
प्राचीन दार्शनिक विचार
वैशेषिक का अणुवाद