निर्वाण शब्द निः (निर) और वाण की संधि से बना है। निर का अर्थ है "अलग होना, दूर होना या उसके बिना" और वाण (पाली: "वाति") का अर्थ है "मुक्ति" जैसे "बहती हवा" और "सूंघना, इत्यादि".

अभिधर्म-महाविभाषा-शास्त्र, जो एक सर्वस्तवादी विचार है, में इस शब्द के संस्कृत से उत्पन्न सभी संभावित अर्थों का वर्णन है:


पाली सिद्धांत में निर्वाण के पथ
विवरण
'निर्वाण' की व्युत्पत्ति
बौद्ध धर्म में निर्वाण