व्याकरण के क्षेत्र में सिद्धहेमशब्दानुशासन, सिद्धहेमलिङ्गानुशासन एवं धातुपारायण ग्रन्थ उपलब्ध हैं। आचार्य ने समस्त व्याकरण वाङ्मय का अनुशीलन कर 'शब्दानुशासन' एवं अन्य व्याकरण ग्रंथो की रचना की। पूर्ववर्ती आचार्यों के ग्रंथो का सम्यक अध्ययन कर सर्वाङ्ग परिपूर्ण उपयोगी एवं सरल व्याकरण की ‍रचना कर संस्कृत और प्राकृत दोनों ही भाषाओं को पूर्णतया अनुशासित किया है।

इनके व्याकरण ग्रन्थ की प्रशंसा करते हुए प्रबन्धचिन्तामणि में लिखा है-

योगशास्त्र
हैम व्याकरण
भारतीय साहित्य को हेमचन्द्र की देन
व्याकरण ग्रन्थ