19वीं शताब्दी के आरंभ में जॉन डाल्टन ने अणुवाद का सबल समर्थन किया। उसे उचित रूप से आधुनिक अणुवाद का पिता कहा जाता है। अणुवाद की पुष्टि में कई हेतु दिए जाते हैं जिनमें दो ये हैं:

(1) प्रत्येक पदार्थ दबाव के नीचे सिकुड़ जाता है और दबाव दूर होने पर फैल जाता है। गैसों की हालत में यह संकोच और फैलाव स्पष्ट दीखते हैं। किसी वस्तु का संकोच उसके अणुओं का एक-दूसरे के निकट आना है, उसका फैलना अणुओं के अंतर का अधिक होना ही है।

(2) गुणित अनुपात का नियम (लॉ ऑव मल्टिपुत्र प्रोपोर्शस) अणुवाद की पुष्टि करता है। जब दो भिन्न अणु रासायनिक संयोग में आते हैं, तो उनमें एक के अचल मात्रा में रहने पर, दूसरा अणु 2,3,4 . . . इकाइयों में ही उसे मिलता है, 212, 334 आदि मात्राओं में नहीं मिलता। इसका कारण यह प्रतीत होता है कि अणु का 12 या 34 अंश कहीं विद्यमान ही नहीं।

आधुनिक विज्ञान और अणु
सुलभ और धर्मध्वज जनक का शास्त्रार्थ
प्राचीन दार्शनिक विचार
वैशेषिक का अणुवाद