ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ಗಾಜಿನ ಅಥವಾ ವಜ್ರದ ಅಂಚಿನ ಮ‌ೂಲಕ ಸಾಗಿಸುವ ಮ‌ೂಲಕ, ಅರೆ-ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ವಿಧಾನವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಸಣ್ಣ-ತೆಳ್ಳಗಿನ ಭಾಗಗಳನ್ನು ಸುಲಭವಾಗಿ ಪಡೆಯಬಹುದು. ಈ ವಿಧಾನವನ್ನು, ಅಂಗಾಶ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ವೀಕ್ಷಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುವ ತೆಳು, ಸ್ವಲ್ಪ ವಿರೂಪಗೊಂಡ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ಪಡೆಯಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ ಅಲ್ಯೂಮೀನಿಯಂನಂತಹ ಅಕಾರ್ಬನಿಕ ಮಾದರಿಗಳನ್ನೂ ಅಧ್ಯಯನ ಮಾಡಬಹುದು. ಆದರೆ ಕಡಿಮೆ ಮೃದುವಾಗಿರುವ ಮಾದರಿಗಳಲ್ಲಿ ಭಾರಿ ಹಾನಿಯನ್ನುಂಟುಮಾಡುವುದರಿಂದ, ಇದರ ಬಳಕೆಯು ಸೀಮಿತಗೊಂಡಿದೆ. ಮಾದರಿಯ ಮೇಲ್ಮೈನಲ್ಲಿ ವಿದ್ಯುತ್‌ಪೂರಣ ಉತ್ಪತ್ತಿಯನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು, ಅಂಗಾಂಶ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ಇಂಗಾಲದಂತಹ ವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳ ತೆಳು ಪದರದ ಹೊದಿಕೆಯಿಂದ ಮುಚ್ಚಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಮುಚ್ಚುವ ಪದರದ ದಪ್ಪವು ಕೆಲವು ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್‌ಗಳಷ್ಟಿರುತ್ತದೆ. ಇದನ್ನು ಸ್ಪಟ್ಟರ್ ಕೋಟಿಂಗ್ ಸಾಧನವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ವಿದ್ಯುತ್ ಚಾಪ ಸಂಚಯನ ಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ನಡೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಯಾಂತ್ರಿಕ ನುಣುಪು
ಅಂಗಾಂಶ ವಿಂಗಡನೆ
ರಾಸಾಯನಿಕ ನಿಕ್ಷಾರಣ
ವಿವರ್ತನೆ