ಅಯಾನ್ ನಿಕ್ಷಾರಣವು ಒಂದು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಕ್ರಿಯೆಯಾಗಿದ್ದು, ಅದು ವಸ್ತುವಿನ ಮೇಲಿನ ತುಂಬಾ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಪರಿಮಾಣಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ. ಇದನ್ನು ಇತರ ವಿಧಾನಗಳಿಂದ ನಯಗೊಳಿಸಿದ ಮಾದರಿಗಳ ಅಂತಿಮ ಹಂತದ ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಮಾಡಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಅಯಾನ್ ನಿಕ್ಷಾರಣವು ಮಾದರಿಯ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ನಿರ್ದೇಶಿಸಿದ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಹರಿವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುವುದಕ್ಕಾಗಿ ವಿದ್ಯುತ್ ಕ್ಷೇತ್ರದ ಮ‌ೂಲಕ ಸಾಗುವ ಇನರ್ಟ್ ಗ್ಯಾಸ್(ಜಡಅನಿಲ) ಬಳಸುತ್ತದೆ. ಆರ್ಗನ್‌ನಂತಹ ಅನಿಲಗಳ ವೇಗೋತ್ಕರ್ಷ ಶಕ್ತಿಗಳು ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯವಾಗಿ ಕೆಲವು ಕಿಲೋವೋಲ್ಟ್‌ಗಳಷ್ಟಿರುತ್ತವೆ. ಮಾದರಿಯ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ನಯಗೊಳಿಸಲು ಮಾದರಿಯನ್ನು ತಿರುಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಅಂತಹ ವಿಧಾನಗಳ ಸ್ಪುಟರ್ ಮಾಡುವ ದರವು ಪ್ರತಿ ಗಂಟೆಗೆ ಅನೇಕ ಹತ್ತು ಮೈಕ್ರೊಮೀಟರ್‌ಗಳಷ್ಟಿರುತ್ತದೆ. ಇದು ವಿಧಾನವನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಉತ್ತಮವಾಗಿ ನಯಗೊಳಿಸಲು ಸೀಮಿತಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.

ಇತ್ತೀಚೆಗೆ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ತಯಾರು ಮಾಡಲು ಕೇಂದ್ರೀಕೃತ ಅಯಾನ್ ಕಿರಣದ ವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತಿದೆ. FIBಯು ದೊಡ್ಡ ಮಾದರಿಗಳಿಂದ TEM ಪರೀಕ್ಷೆಗೆ ತೆಳು ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ತಯಾರು ಮಾಡುವ ಒಂದು ಹೊಸ ವಿಧಾನವಾಗಿದೆ. FIBಅನ್ನು ಸೂಕ್ಷ್ಮ-ಯಂತ್ರ ಮಾದರಿಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚು ಕರಾರುವಾಕ್ಕಾಗಿ ಬಳಸಬಹುದಾದ್ದರಿಂದ, ಅರೆವಾಹಕ ಅಥವಾ ಲೋಹದಂತಹ ಮಾದರಿಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಭಾಗದಿಂದ ತುಂಬಾ ತೆಳ್ಳಗಿನ ಪದರವನ್ನು ನಯಗೊಳಿಸಲು ಸಾಧ್ಯವಾಗುತ್ತದೆ. ಇನರ್ಟ್ ಗಾಸ್ ಅಯಾನ್ ಸ್ಪುಟರ್ ಮಾಡುವ ಕ್ರಿಯೆಗೆ ಭಿನ್ನವಾಗಿ, FIB ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚು ಸಾಮರ್ಥ್ಯದ ಗ್ಯಾಲಿಯಂ ಅಯಾನ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ ಹಾಗೂ ಇದು ವಸ್ತುವಿನ ಸಂಯೋಜನೆ ಅಥವಾ ರಚನೆಯನ್ನು ಗ್ಯಾಲಿಯಂನ ಸೇರಿಸುವಿಕೆಯ ಮ‌ೂಲಕ ಪರಿವರ್ತಿಸಬಹುದು.

ಅಯಾನ್ ನಿಕ್ಷಾರಣ
ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ ಗನ್
ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ ಮಸೂರ
ಮಾರ್ಪಾಡುಗಳು