ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ ಅನಿಲದ ಅಂತರ್‌ಕ್ರಿಯೆಯ ಸರಾಸರಿ ಮುಕ್ತ ಪಥವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು, ಪ್ರಮಾಣಿತ TEMಅನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಒತ್ತಡಕ್ಕೆ ವಿಶಿಷ್ಟವಾಗಿ 10 ಪ್ಯಾಸ್ಕಲ್‌ಗೆ ನಿರ್ವಾತಗೊಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಎರಡು ಕಾರಣಕ್ಕಾಗಿ ಇದರ ಅವಶ್ಯಕತೆಯಿರುತ್ತದೆ: ಮೊದಲನೆಯದು, ವಿದ್ಯುಚ್ಚಾಪವನ್ನು(ಆರ್ಕ್) ಉತ್ಪಾದಿಸದೆ ಕ್ಯಾತೋಡ್ ಮತ್ತು ನೆಲದ ಮಧ್ಯೆ ವೋಲ್ಟೇಜ್ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಲು ಅವಕಾಶ ನೀಡುವುದು. ಎರಡನೆಯದು, ಅನಿಲದ ಪರಮಾಣುಗಳೊಂದಿಗಿನ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳ ಘರ್ಷಣೆಯ ಆವರ್ತನವನ್ನು ನಿರ್ಲಕ್ಷಿಸಬಹುದಾದ ಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು-ಈ ಪರಿಣಾಮವು ಸರಾಸರಿ ಮುಕ್ತ ಪಥದಿಂದ ನಿರೂಪಿಸಲ್ಪಡುತ್ತದೆ. ಮಾದರಿ ಸಾಧನಗಳು ಮತ್ತು ಫಿಲಂ ನಳಿಗೆಯಂತಹ TEM ಘಟಕಗಳನ್ನು ನಿಯತ ಕ್ರಮದಲ್ಲಿ ಸೇರಿಸಬೇಕು ಅಥವಾ ಬದಲಿಸಬೇಕು. ನಿಯತಕ್ರಮದಲ್ಲಿ ಪುನಃನಿರ್ವಾತಗೊಳಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವಿರುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ.

TEMಅನ್ನು ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವ ಒತ್ತಡದ ಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ಶೂನ್ಯಗೊಳಿಸಲು ನಿರ್ವಾಯು ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಅನೇಕ ಹಂತಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ. ಆರಂಭದಲ್ಲಿ ಕಡಿಮೆ ನಿರ್ವಾತ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು,ತಿರುಗುವ ಗಾಳಿ ಗಿರುಗಟೆ ಪಂಪ್ ಅಥವಾ ಕಂಪನಫಲಕದ(ಡಯಾಫ್ರಾಗಮ್) ಪಂಪ್‌ಗಳಿಂದ ಸಾಧಿಸಿ, TEMಅನ್ನು ಸಾಕಷ್ಟು ಕಡಿಮೆ ಒತ್ತಡಕ್ಕೆ ತರಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇದು TEMಅನ್ನು ನಿರ್ವಹಣೆಗಳಿಗೆ ಅವಶ್ಯಕವಾಗಿರುವ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾಯು ಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ತರುವ ಟರ್ಬೊಮೋಲಿಕ್ಯುಲಾರ್ ಅಥವಾ ವಿಸರಣ ಪಂಪ್‌ನ ನಿರ್ವಹಣೆಗೆ ಅವಕಾಶ ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ. ಟರ್ಬೊಮೋಲಿಕ್ಯುಲಾರ್ ಪಂಪ್‌ಗಳನ್ನು ನಿರಂತರವಾಗಿ ನಿರ್ವಹಿಸುವಾಗ ಕಡಿಮೆ ನಿರ್ವಾಯು ಪಂಪ್‌ ನಿರಂತರವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸದ ಹಾಗೆ ಮಾಡಲು, ಕಡಿಮೆ-ಒತ್ತಡದ ಪಂಪ್‌ನ ನಿರ್ವಾಯು ಭಾಗವನ್ನು ಚೇಂಬರ್‌ಗಳಿಗೆ ಜೋಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ಟರ್ಬೊಮೋಲಿಕ್ಯುಲಾರ್ ಪಂಪ್‌ನಿಂದ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಹೊರಗೆ ಕಳುಹಿಸಲು ಇದು ಅವಕಾಶ ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. TEMನ ಭಾಗಗಳನ್ನು ತಡೆಹಲಗೆಗಳ ಬಳಕೆಯಿಂದ ಪ್ರತ್ಯೇಕಿಸಬಹುದು.ಇದರಿಂದ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿ ವಿವಿಧ ನಿರ್ವಾಯು ಮಟ್ಟಗಳಿಗೆ ಅವಕಾಶ ನೀಡುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ,ಹೆಚ್ಚಿನ ಪೃಥಕ್ಕರಣ ಸಾಮರ್ಥ್ಯದ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ ಗನ್‌‌ನಲ್ಲಿ ಅಥವಾ ಕ್ಷೇತ್ರ ಉತ್ಸರ್ಜನೆ TEMಗಳಲ್ಲಿ 10ರಿಂದ 10 ಪ್ಯಾಸ್ಕಲ್‌ನಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚು ನಿರ್ವಾತ ಪ್ರದೇಶ ಕಲ್ಪಿಸುವುದು.

ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ TEM ಕ್ಯಾತೋಡ್‌ನಲ್ಲಿ ವಿದ್ಯುಚ್ಚಾಪ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವುದನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಹೆಚ್ಚಿನ-ವೋಲ್ಟೇಜ್ TEMಗಳಿಗೆ 10ರಿಂದ 10 ಪ್ಯಾಸ್ಕಲ್‌ನಷ್ಟು ಅತಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾಯುಗಳ ಅವಶ್ಯಕತೆ ಇರುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ವೋಲ್ಟೇಜ್ TEMಗಳಲ್ಲಿ ಮ‌ೂರನೇ ನಿರ್ವಾಯು ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಬಹುದು. ತಡೆಹಲಗೆಗಳನ್ನು ಅಥವಾ ವ್ಯತ್ಯಾಸಾತ್ಮಕ ಪಂಪಿಂಗ್ ಬೆಳಕು ಕಿಂಡಿಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಮುಖ್ಯ ಚೇಂಬರ್‌ನಿಂದ ಗನ್ ಪ್ರತ್ಯೇಕಗೊಳ್ಳುವುದರೊಂದಿಗೆ ಅದು ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ವ್ಯತ್ಯಾಸಾತ್ಮಕ ಪಂಪ್-ಮಾಡುವ ಬೆಳಕುಕಿಂಡಿ ಒಂದು ಸಣ್ಣ ರಂಧ್ರವಾಗಿದ್ದು, ಅದು ಅನಿಲದ ಅಣುಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾಯು ಗನ್ ಪ್ರದೇಶಕ್ಕೆ ಪ್ರಸರಣವಾಗುವುದನ್ನು, ಅವುಗಳನ್ನು ಹೊರಗೆ ಪಂಪ್ ಮಾಡುವುದಕ್ಕಿಂತ ವೇಗವಾಗಿ ತಡೆಗಟ್ಟುತ್ತದೆ. ಇದಕ್ಕೆ ಅತಿ ಕಡಿಮೆ ಒತ್ತಡಗಳಿಗಾಗಿ ಅಯಾನ್ ಪಂಪ್ ಅಥವಾ ಗೆಟರ್ಅನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

TEMನಲ್ಲಿ ಕಳಪೆ ಮಟ್ಟದ ನಿರ್ವಾಯುವಿನಿಂದ ಅನೇಕ ಸಮಸ್ಯೆಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು.ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ ಕಿರಣ ಪ್ರೇರೇಪಿತ ಸಂಗ್ರಹ ಎನ್ನುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮ‌ೂಲಕ ವೀಕ್ಷಿಸುವಾಗ TEM ನೊಳಗೆ ಅನಿಲ ಶೇಖರಣೆಯಾಗಿ ಮಾದರಿಯ ಮೇಲೆ ಸಂಗ್ರಹವಾಗಬಹುದು. ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚು ಗಂಭೀರ ಪ್ರಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ವಿದ್ಯುತ್ ವಿಸರ್ಜನೆಯಿಂದ ಕ್ಯಾಥೋಡ್‌ಗೆ ಹಾನಿಯಾಗಬಹುದು.. ಮಾದರಿಯ ಉತ್ಪತನದಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ನಿರ್ವಾಯು ಸಮಸ್ಯೆಗಳನ್ನು, ಮಾದರಿಯ ಹತ್ತಿರದಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತನವಾದ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳಲು ಕೋಲ್ಡ್ ಟ್ರಾಪ್ ಬಳಸಿಕೊಂಡು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ನಿರ್ವಾಯು ವ್ಯವಸ್ಥೆ
ವಿವರ್ತನೆ
ಹಿನ್ನೆಲೆ
ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಂಶೋಧನೆ