Si-O-C என்ற இணைப்பை சிலில் ஈதர்கள் பெற்றிருக்கும். சிலில் குளோரைடுகள் ஆல்ககால்களுடன் வினை புரிவதால் சிலில் ஈதர்கள் உருவாகின்றன. 
(CH3)3SiCl + ROH → (CH3)3Si-O-R + HCl
ஆல்ககால்களைப் பாதுகாக்கும் குழுக்களாக சிலில் ஈதர்கள் விரிவாக பயன்படுத்தப்படுகின்றன..
Si-F பிணைப்புகளின் வலிமையை சுரண்டுவதன் மூலம் சிலில் ஈதர்களின் பாதுகாப்பை நீக்க முடியும். இதற்கு டெட்ரா-.என்-பியூட்டைலமோனியம் புளோரைடு போன்ற புளோரைடு மூலங்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. 

சிலனோல்கள், சில்லாக்சைடுகள், சில்லாக்சேன்கள்
சிலில் ஐதரைடு
தயாரிப்பு
சிலில் ஈதர்கள்