1980 முதல் ஸ்கேனிங் ஆய்வு நுண்ணோக்கிகள் வளர்ச்சிக் காண ஆரம்பித்தது. முதலில் 1981 -ஆம் ஆண்டு வருடு நுண்சலாகை நோக்கி , கெர்ட் பின்னிக் மற்றும் ஹென்ரிச் ரோஹ்ரெரால் உருவாக்கப்பட்டது. இந்த பின் கெர்ட் பின்னிக் , குவேட் மற்றும் கெர்பர் ஆகியோரின் கண்டுபிடிப்பான அணு விசை நுண்ணோக்கியானது 1986-ஆம் ஆண்டு வெளியானது.

எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கி
வரலாறு
எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கியின் செயல்பாடு
வருடு நுண்சலாகை நோக்கி