மெம்ஸ் ஒலிவாங்கியானது (MEMS - MicroElectrical-Mechanical System) , ஓர் ஒலிவாங்கி சில்லு அல்லது சிலிகான் ஒலிவாங்கி என்று அழைக்கப்படுகிறது. இந்த மெம்ஸ் தொழில்நுட்பம் மூலமாக ஒரு சிலிக்கான் சில்லுக்குள் அழுத்தம் உணரும் இடைப்படலம் நேரடியாக திணிக்கப்படுகிறது. இது பொதுவாக முன்நிலை-ஒலிபெருக்கியுடன் சேர்ந்து இருக்கும். பெரும்பாலான மெம்ஸ் ஒலிவாங்கிகள், மின்தேக்கி ஒலிவாங்கி வடிவத்தின் மாற்று வடிவங்களாகவே இருக்கின்றன. இந்த மெம்ஸ் ஒலிவாங்கிகள் ஒரே சிமாஸ் (CMOS) சில்லில் அலைமருவியில் இருந்து எண்மருவிக்கு மாற்றும் மாற்றியில் உருவாக்கப்பட்டிருக்கும். இது அந்த சில்லை ஓர் எண்மருவி ஒலிவாங்கியாக மாற்றிவிடுகிறது. பல நவீன எண்மருவி தயாரிப்புகளில் இது ஒருங்கிணைத்து வைக்கப்பட்டிருப்பது இதன் சிறப்பாகும். வோஃப்சன் மைக்ரோஎலக்ட்ரானிக்ஸ் (WM7xxx), அனலாக் டிவைசஸ், அகுஸ்டிகா (AKU200x), இன்ஃபீனியன் (SMM310 தயாரிப்பு), கோனஸ் எலெக்ட்ரானிக்ஸ், மெம்ஸ்டெக் (MSMx), என்.எக்ஸ்.பீ. செமிகண்டக்டர்ஸ், சோனியன்னf மெம்ஸ், எ.எ.சி. அகோஸ்டிக் டெக்னாலஜீஸ், மற்றும் ஓம்ரன் ஆகியவை மெம்ஸ் சிலிக்கான் ஒலிவாங்கிகளைத் தயாரிக்கும் முக்கிய நிறுவனங்களாகும்.

இருதிசைசார் ஒலிவாங்கிகள்
அழுத்தமின் ஒலிவாங்கி
மெம்ஸ் ஒலிவாங்கி
நீள்வடிவ ஒலிவாங்கிகள்