இதுவே காற்றிற் சுவாசத்தில் அதிகளவான சக்தியைப் பெற்றுத் தரும் இறுதிப் படிமுறையாகும். இதன் போது உள்ளெடுக்கப்பட்ட ஆக்சிசனைப் பயன்படுத்தி, முந்தய படிமுறைகளில் உருவாக்கப்பட்ட NADH, FADH எனபன ஒக்சியேற்றப்பட்டு மீண்டும் NAD+, FAD+ எனபன மீளுருவாக்கப்படுகின்றன. இதன் போது இம்மூலக்கூறுகளிலிருந்து வெளியேற்றப்படும் இலத்திரன்களின் சக்தியைப் பயன்படுத்தி H அயன்கள் இழைமணித்தாயத்திலிருந்து, இழைமணி மென்சவ்விடைப் பிரதேசத்துக்குப் பம்பப்படுகின்றன. பம்பப்பட்ட புரோத்திரன்களால் (H அயன்கள்) இழைமணியின் உள் மென்சவ்வுக்குக் குறுக்கே புரோத்திரன் படித்திறன் உருவாக்கப்படும். இப்படித்திறன் வழியாக இவை மீண்டும் தாயத்துக்குள் ATP Synthase நொதியமூடாகச் செல்லும் போது அவற்றின் சக்தியைப் பயன்படுத்தி அதிகளவான ATP தொகுக்கப்படுகின்றது. உள்நுழையும் H அயன்கள், சக்தி இழந்த இலத்திரன்கள் ஆகியவற்றுடன் ஆக்சிசன் இணைந்து கழிவுப் பொருளாக நீர் உருவாகின்றது. இலத்திரன் இடம்மாற்றல் சங்கிலி மூலம் உச்சமாக 34 ATP வரை உருவாக்க முடியும்.

கிளைக்கோபகுப்பு
நொதித்தல்
பைருவேற் ஒக்சியேற்றல்
இலத்திரன் இடம்மாற்றச் சங்கிலி