கார்பனின் வினைஊக்கி நீராவி நிலை படிதல் 1959 இல் முதன் முதலில் கண்டறியப்பட்டது, ஆனால் 1993 வரை கார்பன் நானோகுழாய்கள் இந்த செயல்பாட்டில் வடிவமைக்கப்படவில்லை. 2007 இல், சின்சின்னாட்டி பல்கலைக்கழக (UC) ஆய்வாளர்கள் ஒரு முதல்நானோ ET3000 கார்பன் நானோகுழாய் வளர்ச்சி அமைப்பில் 18 மிமீ நீளத்தில் வரிசைபடுத்தப்பட்ட கார்பன் நானோகுழாய் அணிகள் வளர்வதற்கான செயல்பாட்டை உருவாக்கினர்.

CVD இன் போது, அடி மூலக்கூறு உலோக வினையூக்கி துகள்களின் அடுக்குடன் தயார்செய்யப்படுகிறது, மிகவும் பொதுவாக இந்தத் துகள்கள் நிக்கல், கோபால்ட், இரும்பு அல்லது ஒரு சேர்க்கை போன்றவையாக இருக்கும். உலோக நானோ துகள்களை ஆக்சைடுகளின் ஆக்சிஜன் ஒடுக்கம் அல்லது ஆக்சைடுகள் திடக் கரைசல்கள் உள்ளிட்ட மற்ற வழிகளிலும் உருவாக்க முடியும். நானோகுழாய்களின் விட்டங்களின் வளர்ச்சி உலோகத் துகள்களின் அளவைச் சார்ந்து இருக்கும். இவற்றை உலோகத்தின் அமைக்கப்பட்ட (அல்லது மூடப்பட்ட) படிதல், ஆற்றிப் பதமாக்குதல் அல்லது உலோக அடுக்குகளின் பிளாஸ்மா அரித்தெடுத்தல் ஆகியவற்றால் கட்டுப்படுத்த முடியும். அடி மூலக்கூறு தோராயமாக 700 °C இல் சூடுபடுத்தப்படுகிறது. நானோகுழாய்கள் வளர்ச்சி தொடங்குவதற்கு, அணு உலையிலிருந்து ஒரு செயல்பாட்டு வாயு (அமோனியா, நைட்ரஜன் அல்லது ஹைட்ரஜன் போன்றவை) மற்றும் ஒரு கார்பன்-உள்ளடங்கிய வாயு (அசித்திலீன், எத்திலீன், எத்தனால் அல்லது மெத்தனால் போன்றவை) ஆகிய இரண்டு விதமான வாயுக்கள் கசியும். நானோகுழாய்கள் உலோக வினையூக்கிகளின் தளத்தில் வளரும்; கார்பன்-உள்ளடங்கிய வாயு வினையூக்கித் துகள்களின் புறப்பரப்பில் தனியாக உடையும், மற்றும் நானோகுழாய்கள் வடிவமடையும் துகள்களின் முனைகளுக்கு கார்பன் பரிமாறப்படும். இந்த இயக்கமுறை இன்னும் ஆய்வில் இருக்கிறது. வினையூக்கித் துகள்கள் வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது வளரும் நானோகுழாய்களின் முனைப்பகுதியில் தங்கிவிடலாம், அல்லது அவை வினையூக்கித் துகள் மற்றும் அடி மூலக்கூறு ஆகியவற்றுக்கு இடையிலான ஒட்டற்பண்பைச் சார்ந்து நானோகுழாய் அடித்தளத்தில் தங்கிவிடும்.

CVD வணிக ரீதியாக கார்பன் நானோகுழாய்கள் தயாரித்தலின் பொதுவான முறை ஆகும். இந்த நோக்கத்திற்காக, உலோக நானோதுகள்கள், உலோகத் துகள்களுடன் கார்பன் ஃபீட்ஸ்டாக்கின் வினைஊக்கி எதிரிவினையின் உயர் உற்பத்திக்கான புறப்பரப்புப் பகுதியை அதிகப்படுத்துவதற்கு MgO அல்லது AlO போன்ற வினையூக்கி ஆதரவுகளுடன் கலந்துவிடுகின்றன. இந்தத் தொகுப்பு வழியில் உள்ள ஒரு சிக்கல் அமிலச் செயல்பாடுகள் வழியாக வினையூக்கி ஆதரவை நீக்குவது ஆகும், அவை சிலநேரங்களில் கார்பன் நானோகுழாய்களின் அசல் கட்டமைப்பை அழித்துவிடுகின்றன. எனினும், நீரில் கரையக்கூடிய மற்ற மாற்றுவழி வினையூக்கி ஆதரவுகள் நானோகுழாய் வளர்ச்சிக்கு பலனளிக்கக் கூடியதாக இருப்பதாக நிரூபிக்கப்பட்டுள்ளது.

வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது (பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட இரசாயன நீராவிப் படிதல்*) வலிமையான மின்புலத்தின் பயன்பாட்டால் பிளாஸ்மா உருவானால், பின்னர் நானோகுழாயின் வளர்ச்சி மின்புலத்தின் திசையை நோக்கி இருக்கும். அணு உலையில் வடிவியலை மாற்றம் செய்வதால், செங்குத்தாக வரிசைபடுத்தப்பட்ட கார்பன் நானோகுழாய்கள் (அதாவது அடி மூலக்கூறுக்கு செங்குத்தாக) தொகுப்பதற்கு சாத்தியம் இருக்கிறது, நானோகுழாய்களில் இருந்து எலக்ட்ரான் உமிழ்வில் ஆய்வாளர்கள் ஆர்வமாய் இருப்பதற்கு இந்த உருவியல் தூண்டியது. பிளாஸ்மா இல்லாமல், நானோகுழாய்களின் விளைவுகள் பொதுவாக முடிவுகள் சீரற்றதாக இருக்கும். சில எதிர்வினை நிபந்தனைகளின் கீழ், பிளாஸ்மா இல்லாத போதும், நெருங்கிய இடைவெளியுடைய நானோகுழாய்கள் ஒரு கம்பளம் அல்லது காட்டை ஒத்திருக்கும் குழாய்களின் அடர்த்தியான அணியின் விளைவாக செங்குத்து வளர்ச்சி திசையைப் பராமரிக்கும்.

நானோகுழாய் தொகுப்புக்கான பல்வேறு வழிககளில், CVD அதன் விலை/அலகு விகிதாச்சாரத்தின் காரணமாக தொழில்சார்ந்த-அளவுப் படிதலுக்கான பெருமளவு உறுதியைத் தருகிறது, ஏனெனில் CVD விருப்பப்பட்ட வினையூக்கியில் நேரடியாக நானோகுழாய்கள் வளரும் திறன் படைத்ததாக இருக்கிறது, ஆதலால் நானோகுழாய்கள் மற்ற வளர்ச்சி நுட்பத்தில் சேகரிக்கப்படவேண்டும். வளர்ச்சித் தளங்கள் வினையூக்கியின் கவனமாக படிதலால் கட்டுப்படுத்தப்படுகின்றன. 2007 ஆம் ஆண்டு, மெய்ஜோ பல்கலைக்கழகத்தைச் சேர்ந்த ஒரு குழுவினர் கற்பூரத்தில் இருந்து கார்பன் நானோகுழாய்கள் வளர்வதற்கான ஒரு உயர்-செயல்திறன் CVD நுட்பத்தை விவரித்தனர். சமீப காலம் வரை காலமான டாக்டர். ரிச்சர்ட் ஸ்மால்லேவின் தலைமையின் கீழ் இருந்த ரைஸ் பல்கலைக்கழகத்தின் ஆய்வாளர்கள், நானோகுழாய்களின் பெரிய,துல்லியமான எண்ணிக்கையுள்ள குறிப்பிட்ட வகைகளை உருவாக்கும் முறைகளைக் கண்டறிவதில் கவனம் செலுத்தினர். அவர்களின் அணுகுமுறை ஒற்றை நானோகுழாய்களில் இருந்து பல சிறிய விதைகளை எடுத்து அதிலிருந்து நீண்ட ஃபைபரை வளர்க்கும் முறை ஆகும்; அனைத்து ஃபைபர்களும் ஒரிஜினல் நானோகுழாய்களின் விட்டத்தை ஒத்திருந்தது கண்டறியப்பட்டது, மேலும் ஒரிஜினல் நானோகுழாயின் வகையாகவே இருக்கும் என எதிர்பார்க்கப்பட்டது. மேலும் கிடைத்த அந்த நானோகுழாய்களின் பண்புருக்கள் மற்றும் வளர்ந்த குழாய்களின் உற்பத்தி மற்றும் நீளத்தில் முன்னேற்றங்கள் தேவையாக இருக்கிறது.

பன்மடங்கு-சுவர் நானோகுழாய்களின் CVD வளர்ச்சி நானோலேப், பேயர், ஆர்கெமா, நானோசில், நானோதிங்க்ஸ், ஹைபெரியன் கேட்டலிசிஸ், மிட்சூய் மற்றும் ஷோவா டெங்க்கோ உள்ளிட்ட பல்வேறு நிறுவனங்களால் டன் அளவில் பொருட்கள் உற்பத்தி செய்வதற்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது.

இரசாயன நீராவி படிதல் (CVD)
ஆற்றல்வாய்ந்த மற்றும் தற்போதைய பயன்பாடுகள்
ஒரு-பரிமாணப் போக்குவரத்து
இயக்கம்