ماهى أشهر شركة للطباعة الضوئية ؟
طباعة ضوئية
Cymer Inc وCoherent Inc
ويعتبر ليزر فلوريد الكريبتون ذو الطول الموجي 248 نانومتر وليزر فلوريد الارجون ذو الطول الموجي 193 نانومتر من أكثر أنواع ليزر الاكسيمر استخداماً في تقنية الطباعة الضوئية. ومن أشهر الشركات المصنعة لأنظمة ليزر الاكسيمر والمستخدمة خصيصاً في هذا المجال: Cymer Inc وCoherent Inc. وحيث أن طريقة عمل مصادر ليزر الاكسيمر تعتمد بصفة عامة على خليط معين من الغازات, فإن تغيير الطول الموجي المنبعث ليس بالامر السهل من الناحية العملية لأن الطول الموجي الجديد يتطلب طريقة إنتاج مختلفة تماما بالإضافة إلى أن الخصائص الامتصاصية الضوئية للمواد المستخدمة في هذه الطريقة تتغير وفقاً للطول الموجي الجديد. فمثلاً, يتطلب توليد شعاع ضوئي ذو طول موجي أقل من 193 نانومتر تركيب مضخة تفريغ هواء وجهاز تنظيف هواء على مسار الأشعة الضوئية داخل نظام الطباعة الضوئية (لأن جزيئات الهواء تمتص الاشعة الضوئية ذات الأطوال الموجية < 200 نانومتر تقريباً) وهذا في حد ذاته يمثل تحدياً عملياً وفنياً كبيراً. أضف إلى ذلك أن بعض المواد مثل ثاني أكسيد السيليكون (SiO2) تقوم بإطلاق العديد من الالكترونات السالبة والثقوب الموجبة عندما تتعرض لفوتونات ذات طاقة أكبر من طاقة فجوة نطاقها مما يؤدي إلى حدوث ظاهرة تسمى الشحن العكسي داخل النظام تؤثر على كفاءته الإنتاجية.