为什么在高真空气体测量中，质谱仪需要和仪表一起使用才能精确？
离子计用于超高真空。它们有两种类型：热阴极和冷阴极。在热阴极型中，电加热的灯丝产生电子束。电子穿过仪表并使周围的气体分子电离。产生的离子被收集在一个负电极上。电流取决于离子的数量，这取决于压力表中的压力。热阴极压力表的准确度为10-3托至10-10托。冷阴极版本的原理是相同的，只是电子是在高压放电产生的放电中产生的。冷阴极压力表的准确度为10-2托至10-9托。电离计校准对结构几何、被测气体的化学成分、腐蚀和表面沉积物非常敏感。在大气压或低真空下，它们的校准可能会被激活而失效。高真空下的气体成分通常是不可预测的，因此必须使用质谱仪和电离计进行精确测量。
高真空下的气体成分通常是不可预测的