So, there are three stages: There is the optical stage, the illumination stage and the mask-holding stage.
Λοιπόν, υπάρχουν τρία επίπεδα: Το οπτικό επίπεδο, το επίπεδο φωτισμού και το επίπεδο  της αντικειμενοφόρου πλάκας.