Although conceptually similar to the scanning confocal microscope developed by Marvin Minsky in 1961 and the scanning acoustic microscope (SAM) developed by Calvin Quate and coworkers in the 1970s, newer scanning probe microscopes have much higher resolution, since they are not limited by the wavelength of sound or light.
Aínda que conceptualmente similares aos microscopios confocales de varrido desenvoltos por Marvin Minsky no ano 1961 e ao microscopio acústico de varrido (en inglés: Scanning Acoustic Microscope, SAM) desenvolto por Calvin Quate e asociados na década de 1970, os microscopios de sonda de varrido máis novos teñen unha moito máis alta resolución, dado que eles non están limitados pola lonxitude de onda do son ou da luz.