The quantitative accuracy for the weaker XPS signals, that have peak intensities 10-20% of the strongest signal, are 60-80% of the true value, and depend upon the amount of effort used to improve the signal-to-noise ratio (for example by signal averaging).
وتكون الدقة الكمية لإشارات مطيافية الأشعة السينية الضعيفة، التي لها شدة ذروة تتراوح بين 10 و 20٪ من أقوى إشارة، هي 60-80٪ من القيمة الحقيقية، وتعتمد على مقدار الجهد المستخدم لتحسين نسبة الإشارة إلى الضوضاء ( على سبيل المثال عن طريق المتوسط المتوسط للإشارة).