These carved out devices, notably put to use in specific microelectromechanical systems used as microsensors, generally only reach the micro size, but the most recent of these have begun to incorporate nanosized components.
Ці вирізнані пристрої, зокрема, призначені для використання в конкретних мікроелектромеханічних системах, що використовуються як мікроксенсори, загалом досягають лише мікро розмірів, але найновіші з них почали включати нанорозмірні компоненти.