산업엔진 핵심장비산업 육성 및 개발전략 발표
산업엔진 핵심장비산업 육성 및 개발전략 발표<br>Ⅴ. 핵심장비 연구개발 로드맵<br>공통핵심기술<br>나. 범위 및 도출 방향<br>□(지원범위)산업엔진 핵심장비 4개 분과의 공통핵심기술 요구사항을 반영하고, 기초공통 측정/검사장비를 포함 총 27개 기술 도출 <table><tbody><tr><td>대분류</td><td>중분류</td><td>도출 방향</td></tr><tr><td>핵심장비 기초기술 (5개)</td><td> 요소 및 모듈 기술<br> 플랫폼 기술<br> 평가인증 기술 </td><td> 산업엔진 핵심장비의 기초 원천기술로 공통 요소기술</td></tr><tr><td>환경제어 및 설계/해석기술<br>(9개) </td><td> 공정환경 제어기술<br> 시뮬레이션 기술<br> 에너지저감 및 신뢰성 기술 </td><td> 환경제어, 설계 시뮬레이션 등 산업엔진 핵심장비군별로 특화된 공통기술 도출<br> 여러 산업엔진 핵심장비 파트에 파급성을 고려하여 추진 </td></tr><tr><td>핵심공정기술<br>(10개) </td><td> 공정 핵심기술<br> 공정 모니터링 기술 </td><td> 수요지향형으로 향후 실용화를 목적으로 하는 공정 분야를 집중 도출 <br> 공정 모니터링 등 ICT 기반의 공통기술로 도출 </td></tr><tr><td>측정/검사기술<br>(3개) </td><td> 광레이저/하전입자/자성기술</td><td> 기초공통 연구장비에 해당되는 기술로 도출 </td></tr></tbody></table>
대분류 기술 중 무엇이 산업엔진 핵심장비의 기초원천기술로 공통 요소를 귀납하는 방향을 가지니