반도체 제조장비의 국가 표준 추진
반도체 제조장비의 국가 표준 추진 <br>‘반도체 제조장비의 안전지침’ 주요 내용<br> <table><tbody><tr><td>구분</td><td>주요 내용</td><td>비고</td></tr><tr><td>적용범위</td><td>o 반도체의 제조, 조립, 검사 및 측정에 사용되는 장비에 적용</td><td> -</td></tr><tr><td>전기적 안전</td><td>o IEC 60204-33의 전기적 안전요구 사항과 일치화하여 규정</td><td>IEC 60204-33와 일치</td></tr><tr><td>화학물질/ 환경적 고려/ 배기환기 </td><td>o 화학물질 : MSDS작성, 위험표시 등 o 환경적 고려 : 폐수, 오염물질 관리 등 o 배기환기 : 후드, 인클로우저 등 </td><td>추가내용</td></tr><tr><td>전리/비전리/레이져</td><td>o 전리방사 : 전리방사 기준 제시 o 비전리방사 : 비전리방사 기준 제시 o 레이져 : 레이져제품의 방사기준 참조(KS) </td><td>추가내용</td></tr><tr><td>소음/전기자기 적합성</td><td>o 소음 : 장비의 소음 규정 o 전기자기적합성 : 전자파 방사·내성기준참조(KS) </td><td>추가내용</td></tr></tbody></table>
반도체 제조장비의 안전지침을 지켜야 하는 장비는 뭐가 있어