반도체 공정 소재의 감초 불소계 실리콘
반도체 공정 소재의 감초 불소계 실리콘 - 불소계 실리콘 박막, 봉지재 및 점착제 등의 소재특허 주목 -
□ “약방의 감초”라는 말은 한약 처방 시 늘 감초가 들어간다는 말로, 반도체 생산 공정 중에도 불소계 실리콘은 약방의 감초처럼 사용되고 있다.
ㅇ 불소계 실리콘은 고온에서 높은 인장강도, 우수한 전기절연성과 내화학적 특성으로 인하여 반도체 공정에서 점착제, 봉지재, 박막 등의 용도를 갖는 핵심 소재로서 성장하고 있다.
□ 특허청(청장 ***)에 따르면, 최근 10년간(2009년~2018년) 특허 출원은 189건으로 2009년 이후 2017년까지 지속적으로 증가되어 왔다.
ㅇ 최근 5년 간(2014년~2018년) 세부기술 적용대상별로 살펴보면 반도체 공정상 불소계 실리콘의 박막 용도가 48건(44%), 점착제 용도가 12건(11%), 봉지재 용도가 8건(7%), 기타 표면처리제, 에칭액 등의 용도가 40건(37%)으로 나타났다.
반도체 공정에서 불소계 실리콘의 용도 중 2014년부터 2018년까지 가장 많이 적용된 세부기술은 뭐야