'12인치 테스트베드' 대기업 생산환경과 유사 조성 ArF 이머전 스캐너 등 장비 10대 구입 등 450억 투입 이조원 원장, 1일 기자간담회서 운영방안 등 발표 이조원(가운데) 나노종합기술원장이 지난 1일 기자간담회서 12인치 테스트베드 구축 계획에 대해 설명하고 있다. 맨 왼쪽은 양준모 나노융합기술본부장, 맨 오른쪽은 함진주 경영기획본부장. 국내 소재·부품·장비 분야 국산화 필요성에 따라 정부가 국내 중소·중견기업의 연구성과 실용화를 지원할 '테스트 베드'를 대전에 위치한 나노기술종합기술원에 설치한다. 국내 반도체 대기업 수준의 시험 장비 구축을 통해 기술 국산화를 앞당길 수 있을지 산·학·연의 관심이 모아진다. 이조원 나노종합기술원장은 지난 1일 대전 유성구 도룡동의 한 식당에서 기자간담회를 열고 반도체 소개·부품·장비 국산화 촉진을 위해 중소·중견기업을 지원할 수 있는 '12인치 테스트베드'를 구축 계획을 발표했다. 정부가 지난 8월 소재·부품·장비 경쟁력 강화대책과 연구개발 투자전략 및 혁신대책안을 발표한 데 따른 조치로 오는 내년 추경부터 2022년까지 450억 원을 투입해 실제 환경과 유사한 12인치 반도체 '테스트 베드'와 성능평가 지원 체제를 구축한다. 기술원은 991.7㎡(옛 300평) 규모 청정실에 12인치 실리콘 반도체 전용장비 ArF 이머전 스캐너(Immersion Scanner)와 트랙 등 10여대를 우선적으로 구축할 예정이며 20nm 패터닝 공정 기술 등 단위·모듈, 특화공정기술을 확립하는 등 검증시스템을 구축할 계획이다. 국내 반도체 산업은 전방산업의 경우 세계 최고 수준에 있으나 후방산업으로 꼽히는 소재·부품·장비 분야는 반도체 핵심소재 국산화율 50%, 장비 국산화율 20%(2017년 기준) 수준으로 기술·산업적으로 취약한 실정이다. 또 국내 기업이 개발한 제품의 성능검증을 위해서는 대기업의 검증기준을 충족하는 12인치 테스트 베드가 필요하지만 시설 부재로 많은 기업이 해외에 의존하고 있다. 기술원이 국내 기업을 비롯해 산·학·연 97개 기관을 대상으로 실시한 수요조사에 따르면 응답한 68개 중 93%에 달하는 63개 기관이 12인치 ArF 이머전 스캐너) 필요성을 인정했다. 연간 이용횟수도 300건가량에 달할 것으로 예상된다. ArF 이머전 스캐너는 액침기법을 적용해 해상력을 향상시켜 소자기업 양산라인에서 활용되며 반도체 핵심소재인 감광제, 전구체 등 관련 기업의 수요가 높다. 기술원은 기업 현장의 수요를 반영해 중소·중견 기업의 제품 검증 단계에서 최종 수요기업의 양산단계에 이르기까지 사각지대가 발생하지 않도록 검증시스템을 구축하고 기술개발기업과 최종 수요기업을 연계하는 교량 역할을 할 수 있도록 계획을 수립했다. 기술원은 또 핵심장비인 ArF 이머전 스캐너 신규 장비가 1000억 원 수준의 고가에 달해 삼성이나 SK하이닉스 등 대기업의 유휴 장비 확보를 통해 예산을 절감할 방침이다. 이조원 원장은 "12인치 테스트베드 구축을 통해 중소기업의 제품개발에서부터 대기업의 최종 구매에 이르기까지 막힘없이 연계될 수 있도록 상생 협력을 위한 상호연계 생태계 조성을 위해 최선의 노력을 기울이겠다"고 말했다.
이조원 나노종합기술원장은  국내 소재·부품·장비 분야 국산화에 도움을 주고자 정부가 국내 중소·중견기업의 연구성과 실용화를 지원할 '테스트 베드'를 대전에 있는 나노기술종합기술원에 설치할 계획이다.