테라헤르츠 카메라의 검출기로는 마이크로 볼로미터 어레이가 가장 널리 사용되고 있다. 각각의 마이크로 볼로미터 픽셀은 바나듐 옥사이드(VOx ), 비정질 실리콘(Amorphous silicon) 등의 볼로미터 박막층, 절연층, 금속층 등으로 구성되어 있으며 상온에서 동작한다. 최근에 스위스의 SwissTerahertz사에서는 마이크로 볼로미터 어레이를 사용한 픽셀 수 1,920×1,080, 픽셀 크기 15μm로 초당 60프레임의 영상을 얻는 테라헤르츠 카메라를 출시하였다. 이 카메라의 성능지표는 4.6THz QCL(Quantum Cascade Laser)를 광원을 사용하여 얻었는데, 앞으로 이보다 파워가 적고, 주파수 낮을 때에도 효율적으로 고분해능의 이미지를 얻는 연구가 필요할 것으로 예상된다.
테라헤르츠 카메라의 검출기는 마이크로 볼로미터 어레이가 제일 많이 사용되고 있다. 향후 보다 적은 파워와 낮은 주파수에서도 고분해능의 이미지를 찍을 수 있게 연구가 필요하다.