2003년 일부 개정된  과학기술기본법 에도 기술영향평가의 법적근거가 마련되 어, 이 법령에 의거, 한국과학기술기획평가원(KISTEP)이 NBIT 기술영향평가를 실 시하였으며, 2005년 발표된 제 2기 󰡔나노기술종합발전계획󰡕의 4대 목표 중 하나로  ʻ나노기술 영향 등 사회적 요구에 대응하는 기술개발ʼ이 설정되어, 나노기술의 정의 와 산업, 경제, 사회문화적 관점에서 영향평가가 시행되었다(과학기술기본법, 법률 제7015호, 2003.12.30). 2010년 수립된 제 3기 󰡔나노기술종합발전계획󰡕에서도 나 노기술에 대한 영향평가 내용이 포함되었으며 2013년에 재개정된 「나노기술개발 촉진법」에서는 나노기술 영향평가의 범위 및 절차를 보다 세분화하고 구체화하여 규정하고 있다(국가과학기술위원회, 2011b, 별지p.19).
국내 나노기술 영향평가는 2003년에 법적근거가 마련된 이후, 2005년 2기를 거쳐 2010년 3기까지 꾸준히 시행되다, 2013년 재개정 나노기술촉진법에서 기술영향평가, 절차와 범위를 더욱 구체화, 세분화 하였다.