산업단지형 자유무역지역의 경우, 외국인투자 비율이 30% 이상이고 외국인이 제1대 주주인 경우를 만족하면서, 제조업종일 경우 외국인투자 금액이 500만 불 이상 신규로 투자될 경우 임대하는 토지 및 건물의 75%를 10년간 무상으로 사용할 수 있다. 부품소재산업일 경우는 외국인 투자금액이 신규로 500만 불 이상이면 10년간 100% 무료로 사용할 수 있으며, 고도기술수반사업 및 산업서비스 업종일 경우는 100만 불 이상 외국인투자가 신규로 유치될 때에 10년간 100% 무료로 제공되고 있다. 기존에는 외국인투자 금액에 따른 임대료 면제 인센티브를 토지와 건물로 구분하였고, 또한 자유무역지역별로도 구분하였으나, 2013년 공고 때에는 일원화하였다.
산업단지형 자유무역지역의 경우 외국인 투자인비율과 산업업종에 따라 임대기간과 토지 및 건물의 임대비율이 다를 수 있다. 기존에는 이를 토지와 건물로 각각 구분하였으나 2013년에 통합했다.