일본이 지난달 4일 한국으로의 수출규제를 강화한 핵심소재 3개 중 반도체 공정에 쓰는 극자외선(EUV) 포토레지스트에 대한 수출허가를 내줬단 소식이 전해진 8일 기업들은 일본의 추가 개별허가가 이어질지 기대를 드러냈다. 이번 허가가 일본의 수출규제 조치를 정당화시킬 명분을 얻기 위한 일회성 조치에 지나지 않을 가능성에도 불구, 일본의 수출규제 내용이 '금수'(禁輸)보다 '심사 강화' 쪽에 있다는 것을 보여 주기 위한 양동작전이 아니냐는 분석도 나온다. EUV 포토레지스트는 7나노(㎚) 이하 초미세 반도체 공정에 활용되는 물질이다. 국내 반도체 기업 중 SK하이닉스는 이 소재를 연구용으로 활용 중이고, 삼성전자는 미래 먹거리로 육성 중인 시스템반도체 제조 공정에서 쓰고 있다. 규제 품목에 EUV 포토레지스트가 포함됐을 때 일본이 한국의 미래 기술 성장을 견제하려는 의도라거나, 미국이 중국의 화웨이에 제재를 가하듯 일본이 삼성전자를 표적 삼아 공격에 나섰다는 음모론식 진단이 나오기도 했다. 삼성전자는 중간 유통기업 없이 EUV 포토레지스트를 직접 일본 소재기업으로부터 조달했고, 한일 양국 관계 악화 전까지 한 달에 1~2차례 납품받는 식으로 재고 관리를 해 온 것으로 알려졌다. 법령상 90일까지 수출 허가를 지체할 수 있지만, 일본이 수출규제 단행 한 달여 만에 EUV 포토레지스트 수출 허가를 내준 것은 삼성전자가 소재 재고 부족으로 생산차질을 빚는 '파국적 상황'을 막기 위해서란 추측도 있다. 전 세계 메모리 반도체 물량의 70~80%를 생산하는 한국 반도체 공정에서 생산 차질이 실현될 경우 미국을 포함한 전 세계 정보기술(IT) 기업 경영이 연쇄적으로 파국에 처할 것으로 보인다. IT 산업 가치사슬 붕괴의 책임이 전적으로 일본에 묻는 상황을 일본 정부가 부담스러웠을 것이란 설명이 설득력을 얻고 있다. 그럼에도 한국 기업들은 여전히 일본 당국의 행보에 눈을 떼지 못하고 있다. 산업계에선 "한 건의 수출 허가가 이뤄졌지만, 일본만 쳐다보고 있어야 하는 상황은 여전하다"는 푸념이 나왔다. 한 가지 품목에 대해 수출허가가 났을 뿐 일본이 다른 소재도 무기화하지 않을지, 통상 한 달쯤 시차를 두고 일본이 다른 소재도 허가를 할지, 수출규제 대상인 3개 품목 외 다른 화이트리스트(백색국가) 제외 품목에 대해서도 수출허가 기간을 지연시킬지 일본 정부의 속내를 파악하려면 향후 더 긴 시간이 필요할 전망이다. 그렇더라도 당장 일본의 수출규제 조치가 수출 중단이란 파국적 결말을 맺은 상태가 아니라 여전히 유동적인 상황임이 확인된 것은 긍정적인 면으로 평가됐다. 일본이 반도체 가치사슬(공급망)을 와해시키고 있다는 국제사회 비판, 한일 간 외교적 노력 등을 통해 상황이 개선될 여지가 있기 때문이다. 하지만 이 같은 상황까지 염두에 두고 일본이 애초에 극단적인 수출금지 조치 대신 사후 유연한 선택이 가능한 수출허가 강화 카드를 선택했을 가능성 또한 배제할 수 없다.
지난달 일본이 대 한국 수출규제를 강화한 핵심소재 3개 중 연구 및 시스템반도체 제조에 쓰이는 극자외선 포토레지스트의 수출을 허가해 기업들이 향후 수출 중단이 아닌 일본의 추가 개별허가가 이어질 수 있는 유동적 상태임을 보였다는 점에서  긍정적으로 평가했다.