지난달 4일 일본이 반도체·디스플레이 소재 3종에 대한 수출 규제를 단행한 이후 처음으로 21일 일본산 극자외선(EUV) 포토레지스트가 국내 반입된 것으로 22일 알려졌다. 수출 규제 한 달여가 지난 뒤 일본이 두 차례 허가 조치를 내린 삼성전자 수입분 중 첫 번째 허가분으로 보인다. 일본산 포토레지스트는 항공편을 통해 반입된 것으로 전해졌다. 약 3개월치 분량으로 알려진 이번 물량은 일본의 수출 규제 조치 이후 49일 만에 처음 국내로 반입된 물량이다. 해당 물량은 삼성전자 화성 반도체 공장의 EUV 생산라인으로 옮겨질 전망이다. EUV 포토레지스트는 초미세 공정에 활용되며, 특히 삼성이 메모리반도체에 이어 세계 시장 1위 목표를 내세운 시스템반도체 초격차 전략 제품 공정에 필수적인 소재로 분류된다. 이번 물량에 이어 두 번째 허가분 포토레지스트까지 삼성전자가 확보하면 9개월치 재고를 마련, 당장 공정 운영에 숨통이 트이는 것으로 업계는 보고 있다. 삼성전자는 이번에 들여온 물량과 관련해 "공급사가 어디인지 확인할 수 없다"며 함구 중이지만 업계는 1차 수출 허가분을 신에쓰화학, 2차 허가분을 JSR 공급분으로 추측했다. 일본이 수출 규제 품목으로 포함시킨 3개 품목 중 EUV 포토레지스트 외 불화수소와 플루오린 폴리이미드는 단 한 건도 아직까지 수출 허가가 나오지 않았다. 그러나 세 가지 품목 중 가장 국산화·수입선 다변화가 어려운 품목으로 꼽힌 것이 EUV 포토레지스트였기 때문에 국내 반도체 업계는 일본의 제한된 조치에도 안도하는 모습이다.
지난달 4일 일본의 수출 규제 이후 49일 만에 삼성전자 첫 번째 수입 허가분인 3개월치 분량의 일본산 극자외선 포토레지스트가 21일 국내 반입 된 것으로 22일 알려졌다.