일본 정부의 반도체 수출 규제로 어려움을 겪고 있는 삼성전자와 SK하이닉스가 내년초에 국산 고순도 불화수소(에칭가스)를 반도체에 적용할 것으로 보인다. 불화수소는 반도체와 디스플레이 세정 공정에 필요한 핵심소재로, 앞서 7월초 일본은 플루오린 폴리이미드, EUV(극자외선)용 포토레지스트와 함께 수출 규제 품목으로 지정했다. 2일 업계에 따르면 SK그룹의 반도체 소재 계열사인 SK머티리얼즈가 내년 상반기 중으로 고순도 불화수소를 삼성전자와 SK하이닉스 반도체에 적용할 것으로 알려졌다. SK머티리얼즈 고순도 기술 확보 LG디스플레이 본격 적용 임박 삼성디스플레이도 곧 국산화 이 업체는 최근 99.999% 이상의 고순도 불화수소 기술을 확보, 삼성전자·SK하이닉스와 함께 시제품 테스트를 진행 중이다. 업계에선 보통 테스트를 마친 뒤 6개월 적응 과정을 거치면 생산라인 투입이 가능할 것으로 보고 있다. 이미 국내 디스플레이 업체들의 경우 고순도 불화수소를 양산 라인에 투입하고 있거나 투입을 앞두고 있는 상황이다. LG디스플레이는 최근 국산 불화수소의 테스트를 마무리하고 양산 라인에 본격 적용한 것으로 알려졌다. LG디스플레이는 소재 협력사인 솔브레인을 통해 불화수소 국산화에 성공한 것으로 전해졌다. 삼성디스플레이도 이달 말까지 국산화 테스트를 끝낸 뒤 양산화에 들어갈 것으로 알려졌다. 업계 관계자는 “디스플레이 생산 라인은 반도체 공정보다 단순하고 초고순도 불화수소도 필요없기 때문에 현장 적용에 큰 어려움이 없다”고 설명했다. 삼성·LG디스플레이가 이처럼 국내 업체의 고순도 불화수소를 사용하더라도 생산량이 충분하지 않아 당분간은 국산과 일본산 을 병행할 것으로 보인다. 지난달 말 일본이 고순도 불화수소의 수출을 허가한 것도 이 같은 국내 업체들의 국산화 움직임과 무관치 않다는 게 업계의 시각이다. 우리나라가 국산화에 속도를 내면서 일본 기업들의 실적이 악화되고 있기 때문이다. 배동진 기자 djbae@
일본 정부의 반도체 수출 규제로 어려움을 겪고 있는 삼성전자와 SK하이닉스가 내년초에 반도체와 디스플레이 세정 공정에 필요한 핵심소재인 국산 고순도 불화수소를 적용한다고 알려졌으며, 그 중 국내 업체인 SK머티리얼즈 제품을 사용 할 예정이라고 알려졌다.