배동진 기자 djbae@busan.com 지난달 일본의 반도체 소재 3개 품목의 한국 수출 규제 이후 부품 조달에 어려움을 겪던 삼성전자가 EUV(극자외선) 포토레지스트에 이어 고순도 불화수소(에칭가스)까지 일본으로부터 공급을 받게 돼 일단 숨통을 틜 것으로 보인다. 30일 반도체 업계에 따르면 일본 경제산업성이 29일 수출을 승인한 불화수소는 일본 스텔라 제품으로, 국내 솔브레인이 수입해 삼성전자에 납품하는 물량으로 파악됐다. 불화수소는 반도체 주요 공정 중 식각과 세정 작업에 쓰이는 소재다. 불필요한 회로를 깎거나 불순물을 제거하는데 사용된다. 이와 관련, 국내 업체들은 고순도 불화수소의 국산화를 위해 다방면으로 노력하고 있으며 일부 성과도 내고 있다. 삼성전자는 이미 고순도 불화수소에 사용할 중국산 불산의 품질 테스트를 마친 것으로 알려졌다. 다만 이 제품을 직접 생산현장에 안정적으로 적용하는데는 다소 시간이 걸릴 것으로 보인다. 삼성전자는 불화수소에 대해 일본산 외에도 적은 물량이지만 한국·대만·중국산 등을 쓰고 있는 것으로 알려져있다. SK머티리얼즈도 지난달 말 “지난 1∼2년간 연구개발을 통해 99.999% 이상의 고순도 불화수소 기술을 확보했으며, 연말까지는 시제품 생산이 가능하다”고 밝힌 바 있다. 업계 관계자는 “국산화가 진행되면 해당 제품들과 일본산 제품을 당분간 병행해서 사용할 가능성이 높다”고 분위기를 전했다. 배동진 기자 djbae@busan.com
일본의 반도체 소재 3개 품목의 한국 수출 규제가 일부 풀리며 삼성전자는 EUV(극자외선) 포토레지스트에 이어 고순도 불화수소(에칭가스)까지 공급을 받게 되었으며, 국내 업체들이 반도체 주요 공정 소재로 쓰이는 불화수소 생산에 성과를 내고 있어 점차 안정화를 되찾을 전망이다.
