자체감사는 감사대상기관에서 매년 실시한 자체감사의 성과를 효과성, 능률성, 충족성/적합성(adequacy), 적절성(appropriateness), 형평성, 대응성 등 차원에서 분석해야 한다(남궁근 외, 2008: 458; 노화준, 2010: 122-161). 이러한 자체감사의 평가는 먼저, 자체감사가 가치 있는 결과를 달성하였는가? 둘째, 가치 있는 감사결과를 달성하기 위해서 얼마나 많은 노력을 필요로 하는가? 셋째, 가치 있는 결과의 달성이 문제를 얼마나 달성하였는지? 넷째, 감사결과가 감사대상기관과 수감기관의 고객들에게 공적 가치를 만족시키고 있는지? 다섯째, 감사결과의 감사권고가 실제로 바람직한 의미와 유용성, 가치를 갖는지? 등의 차원에서 이루어진다. 이러한 기준들은 자체감사의 성과를 평가하는 지표로서 의미를 갖는다.
자체감사 성과의 평가는 효과성, 능률성, 충족성/적합성, 적절성, 형평성, 대응성 등을 고려해서 분석되어야 한다.