Metal organic chemical vapor deposition(MOCVD) 방법을 이용하여 금속 촉매에 따른 β-Ga2O3 나노 와이어의 제작과 특성에 대해 연구하였다. 본 연구의 성장 조건에서 β-Ga2O3 나노 와이어의 성장이 가능한 금속 촉매는 Au, Cu 그리고 Ni이 있었으며 각 금속 촉매로 성장한 나노 와이어는 성장률과 형상에 많은 차이가 있었다. Ni 촉매 성장의 경우에는Vapor-Solid(VS) 과정이 β-Ga2O3 나노 와이어 성장의 주된 메커니즘이고 Au, Cu 촉매 성장의 경우에는 Vapor-Liquid-Solid (VLS) 과정이 주된 성장 메커니즘 임을 확인할 수 있었다. 또한, 촉매의 종류에 따라서 β-Ga2O3 나노 와이어의 광학적 특성도 다르게 나타나는 것을 확인할 수 있었다. 반면, 동일한 성장 조건에서 Ti, Ag 그리고 Sn 금속은 나노 와이어 성장을 위한 촉매로 작용하지 못하였다. 본 연구에서는 금속 촉매에 따른 나노 와이어의 성장 가능 여부와 성장한 나노 와이어의 특성 변화가 금속 촉매의 녹는 점, 금속- Ga의 공융 점과 관련이 있음을 상태도와 연관 지어 밝혀내었다.
Metal organic chemical vapor deposition(MOCVD) 방법을 이용하여 금속 촉매에 따른 β-Ga2O3 나노 와이어의 제작과 특성에 대해 연구했다.