고밀도 ITO 타겟 제조를 위해 입자의 크기가 미세하면서도 응집성이 적은 In2O3 분말을 합성해야 한다. 본 실험에서는 In2O3 분말의 특성에 영향을 미치는 전구체 Indium hydroxide 분말의 크기와 형상을 제어하는 것에 목적을 두고있다. 출발 물질로써 Indium metal을 질산(HNO3)과 증류수의 혼합용액에 용해시켜 In(NO3)3 용액을 만들었다. 침전제로 수산화암모늄(NH4OH)을 사용하여 농도, pH, 온도가 Indium hydroxide 특성에 미치는 영향을 분석하였다. X-ray diffraction으로 각 시료의 결정상을 분석하고 Crystallite size를 계산하였으며, TEM으로 입자의 형상과 크기를 분석하였다. 그 결과In(NO3)3 농도가 증가할수록 얻어지는 Indium hydroxide의 입자크기는 증가하였고 일정한 농도의 In(NO3)3 용액에서 침전pH 변화에 따른 Indium hydroxide의 입자크기와 형상의 변화는 관찰되지 않았다. 침전 시 온도가 상승할수록 입자크기는증가하였다.
고밀도 ITO 타겟 제조를 위하여 입자의 크기가 미세하면서도 응집성이 적은 In2O3 분말을 합성해야 한다. 본 연구에서는 In2O3 분말의 특성에 영향을 미치는 전구체 Indium hydroxide 분말의 크기와 형상을 제어하는 것을 목적으로 한다.