LiCoO2는 박막전지의 양극재료로써 많은 관심을 받고 있는 물질이다. 본 연구에서는 졸-겔 스핀코팅공정과 열처리 과정을 거쳐 Au 금속 지지체 위에 LiCoO2 박막을 합성하였으며, 열처리 온도와 열처리 시간에 따른 LiCoO2 박막의전기 화학적 성질을 고찰하였다. 합성된 박막의 물리화학적 성질은 X-선회절분석기(XRD), 전자현미경(SEM)과 원자간력현미경(AFM)에 의해 조사하였으며 전기화학적 특성분석을 위하여 galvanostatic법을 이용하여 충·방전 사이클 특성도 조사하였다. X-선 회절 결과로부터 550oC와 750oC 지지체 위에 성장된 박막은 각각 스피넬구조와 층상 암염구조를 갖는다. 750oC에서 10분과 30분 열처리한 시료의 RMS 조도와 입자의 크기는 큰 차이를 보이지 않았으나, 120분 열처리한 시료는 RMS조도의 증가, 입자크기의 증가 그리고 세공이 관찰되었다. 750oC에서 10분, 30분, 120분 열처리한 LiCoO2 박막의 방전용량은 각각 54.5, 56.8, 51.8 μAh/cm2μm이고 50회의 충·방전 후의 방전용량 복원률은 97.25, 76.69, 77.19 %이다.
본고에서는 졸-겔 스핀코팅공정과 열처리 과정을 거쳐 Au 금속 지지체 위에 LiCoO2 박막을 합성했으며, 열처리 온도 및 열처리 시간에 따른 LiCoO2 박막의전기 화학적 성질을 고찰했다.