메칠멜캅탄(CH3SH) 가스를 검출하는 수정진동자(QCM) 가스센서를 QCM의 전극에 TiO2 나노입자와 전해질 폴리머를 증착하여 제조하였다. LBL-SA법에 의해 제조된 TiO2/PSS 박막은 높은 비표면적을 나타내었고, 가스센서의 감도를증가시켰다. 1.0 ppm의 농도를 갖는 메칠멜캅탄에 노출된 TEA 혹은 TiO2/PSS 막이 증착된 QCM의 주파수 변이는 각각 약9 Hz, 2 Hz 였다. (TiO2/PSS) 박막의 증착수가 늘어남에 따라 제조된 박막의 비표면적이 증가하게 되어 QCM 센서의 주파수 변이도 점차적으로 증가하였다. 추가적으로 메칠멜캅탄 가스의 농도가 0.5 ppm에서 2.0 ppm으로 높아짐에 따라 QCM 센서의 주파수 변화도 증가되었다. 본 연구에서는, (TiO2/PSS) 박막이 증착된 QCM 센서의 표면구조의 변화와 센서 특성을측정하였다.
이 연구에서는, 박막이 증착된 QCM 센서의 표면구조의 변화와 센서 특성을측정했다.