ITO(indium tin oxide) 박막을 RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 산소 분압을 0에서 6 × 10?5Pa로 변화시킨 조건 하에서 PET 기판 위에 증착하였고, 산소 분압에 따른 ITO 박막의 전기적, 광학적 특성과 결정성의 변화를 조사하였다. 산소 분압이 1 × 10?5Pa 이하에서는 증착된 ITO 박막은 비정질 구조를 가지는 반면에 2 × 10?5Pa 이상에서는 결정질임을확인하였다. 이러한 구조적 변화와 더불어 전하 캐리어 농도와 비저항이 증가하였다. 산소 분압이 4 × 10?5Pa에서 최소 비저항(9.8 × 10?4Ω · cm)을 얻을 수 있었다. ITO/PET 박막의 광투과율도 산소 분압이 증가함에 따라 증가하였으며 산소 분압 4 × 10?5Pa에서 80 % 이상을 나타내었다. 본 연구를 통하여 최적의 산소 분압 선정이 ITO 박막의 결정성 향상, 캐리어밀도 향상 그리고 전기전도도 향상 효과를 나타냄을 확인하였다.
본고를 통해 최의 산소 분압 선정이 ITO 박막의 결정성 향상, 캐리어밀도 향상 및 전기전도도 향상 효과를 나타냄을 확인했다.