본 연구에서는 Mach-Zehnder interferometric waveguide 형 LiNbO3 광강도변조기(optical intendity modulator)를제작하고 그 특성에 관하여 조사하였다. 광도파로는 양자교환(annealed proton exchange, APE)방식으로 제작하였고, 마이크로파전극(microwave electrode)은 CPW(coplanar wavegide) 형으로 전기도금을 이용하여 6㎛까지 형성하였다. 제작된 내부칩은 폴리싱(polixhing) 및 피그테일링(pigtailing) 과정을 거쳐 황동패키지에 하우징(housing)하였다. 입력측은편광유지광섬유(polarization maintaing optical fiber, PMF)를 사용하였고 출력측은 단일모드광섬유(single mode doptical fiber, SMF)를 사용하여 자외선경화수지(UV-epoxy)로 접속시켜 완성하였다. 제작된 광변조기의 3-dB 변조대 역폭은 8GHZ 구동전압은 5.6Volts을 나타내었으며, 전체 fiber-to-fiber 삽입손실(insertion loss)는 5.2dB였다.
이 연구에서는 Mach-Zehnder interferometric waveguide 형 LiNbO3 광강도변조기(optical intendity modulator)를 제작하고 그 특성에 관하여 조사하였다.