현재 진공유리 배기공정을 위해 진공챔버나 진공튜브를 이용하는데 챔버 혹은 튜브 내부 전체를 진공으로 만들기 위한 시간과 경비가 과도하게 요구된다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 상압에서 진공배기 및 초음파 접합이 동시에 가능한 복합기를 개발하고자 하였는데, 이 경우 진동자인 피에조 온도가 과도하게 상승하여 복합기의 냉각을 최적화할 필요성이 대두되었다. 따라서, 본 연구에서는 수치해석 및 실험을 통해 자연대류 및 강제대류 냉각방식의 효과를 규명하였고 이를 통해 진공 배기 및 초음파 접합 복합기의 냉각 성능을 최적화하였다.
이 연구에서는 수치해석 및 실험을 통해 자연대류 및 강제대류 냉각방식의 효과를 규명했고 이를 통해 진공 배기 및 초음파 접합 복합기의 냉각 성능을 최적화했다.