본 논문에서는 LSPR 센서에 적용하기 위한 제한된 높이 100 nm에서 TiO2 , SiO2의 다중층을 이용한 LSPR 센서를 디자인을제안했다. LSPR 센서의 구조는 유전체 층과 나노 구조가 있는 금속층으로 디자인 하였다. 금속층은 금 박막 40 nm와 높이 40nm, 주기 600 nm, 선폭 300 nm인 나노와이어 구조체를 올려놓은 구조로 디자인하였다. 유전체 층의 높이를 100nm로 제한하고,TiO2, SiO2가 반복되는 구조로 하여 반복층의 개수를 1~4개로 변경하면서 비교 분석하였다. 파장 가변형 SPR을 디자인하기 위해각도를 75도로 고정하고 파장을 변화시켜 FEM방식으로 계산하였다. 결과로 굴절율이 고정되어 있을 때 다중층의 개수가 증가할수록 공명 파장이 짧아지는 현상을 확인 하였고, 파장의 변화에 더 민감하게 변화하는 것을 측정하였다. 다만, 다중층의 개수가3개층 이상이 되면 변화하지 않는 것을 확인하였다.
본 연구는 LSPR 센서에 적용하기 위한 제한된 높이 100nm에서 TiO2 , SiO2의 다중층을 이용한 LSPR 센서를 디자인을 제시하였다. LSPR 센서의 구조는 유전체 층과 나노 구조가 있는 금속층으로 디자인했다.