기존의 MOS 구조를 갖는 온도 센서가 가지는 누설 전류 문제를 해결하기 위하여 제안된 Bi2Mg2/3Nb4/3O7 (BMNO) 를 이용한 온도센서의 민감도 평가를 저주파 누설 전류 측정을 통하여 수행하였다. 측정결과에서 서로 다른 어닐링 온도 ( 600°C, 700°C, 800°C) 에 따른 서로 다른 패턴의 저주파 노이즈 특성을 얻을 수 있었으며, 그 결과에서 온도 센서 동작을 저해할 수 있는 공정 조건(700°C) 을 선별하는 결과를 얻을 수 있었다. 이와 같은 측정법은 향후 BMNO를 이용한 온도센서의 공정 최적화를 측정하는 방법으로 응용 될 수 있다.
기존의 MOS 구조를 갖는 온도 센서가 갖는 누설 전류 문제를 해결하기 위해 제안된 Bi2Mg2/3Nb4/3O7 를 이용한 온도센서의 민감도 평가를 저주파 누설 전류 측정을 통해 수행했다.