Y2O3-BN 세라믹 복합체를 제작하기 위해서, 분말 입도 3~10 μm인 Y2O3 분말을 분산한 슬러리에 pH 조절제인NaOH를 첨가하였으며 결합제로는 PVA, 가소제로는 PEG를, BN 분말과 혼합하고, 분무건조(spray drying)공정을 거쳐 Y2O3혼합 분말을 제조하였다. ?14 mm 크기의 Y2O3-BN 시편을 성형하고, 1550oC 및 1600oC에서 소결하여 Y2O3-BN 복합체를 제작하였다. BN 투입량과 소결온도의 변수에 따른 미세구조, 순도, 꺽임강도, 열팽창계수, 밀도, 체적저항, 내플라즈마 특성을 조사하였다.
Y2O3-BN 세라믹 복합체를 제작하기 위해서, 분말 입도 3~10 μm인 Y2O3 분말을 분산한 슬러리에 pH 조절제인NaOH를 첨가하였으며 결합제로는 PVA, 가소제로는 PEG를, BN 분말과 혼합하고, 분무건조공정을 거쳐 Y2O3혼합 분말을 제조하였다.