3차원 실리콘 챔버를 갖는 15.8×15.8 mm2 크기의 칩을 바이오 센서용으로 마이크로머시닝 기술을 이용하여 개발하였다. 비등방성 식각기술을 이용하여 (100)방향의 p형 실리콘 웨이퍼위에 마이크로 챔버를 형성하였다. 마이크로 챔버를 갖는 웨이퍼와 백금전극이 도포된 Pyrex 유리를 DGF-48S 접착제를 이용하여 접합하였다. 백금전극과 Ag/AgCl 기준전극에 의한 전기화학적 특성을 조사하였다.
3차원 실리콘 챔버를 갖는 15.8×15.8 mm2 크기의 칩을 바이오 센서용으로 마이크로머시닝 기술을 이용해 개발했다.