본 논문에서는 37채널을 갖는 적응광학계용 SiC(Silicon Carbide) 변형거울의 파면 보상 성능 검증에 관한 내용을 다룬다. 컴퓨터 시뮬레이션을 통해 SiC 변형거울의 파면 보상 성능을 예측하였고, 실제 closed-loop 적응광학계를 구성하여 파면 보상 성능을 확인하였다. Closed-loop 적응광학계는 광원, 위상판, SiC 변형거울, 고속 샥-하트만 센서 그리고 제어용 컴퓨터로 구성되어있다. 회전하는 위상판에 의해 왜곡된 파면을 샥-하트만 센서로 측정하고, SiC 변형거울을 이용하여 왜곡된 파면을 보상해주는 시스템이다. 결과적으로 closed-loop 적응광학계에서 500 Hz의 속도로 PV(Peak-to-Valley) 0.3 μm ~ 0.9 μm, RMS(Root-Mean-Square) 0.06 μm ~ 0.25 μm의 왜곡된 파면을 PV 0.1 μm, RMS 0.03 μm이하로 보상시킬 수 있었다.
이 논문에서는 37채널을 갖는 적응광학계용 SiC 변형거울의 파면 보상 성능 검증에 대한 내용을 다룬다.