LiCoO2는 박막 베터리의 양극재료로써 많은 관심을 받고 있다. 본 연구에서는 스핀 코터를 이용한 졸-겔 합성공정과 열처리 과정에 의해서 Au 지지체 위에 LiCoO2 박막을 합성하였다. 합성된 박막의 구조는 X-선회절분석, 라만분광광도계를 이용하여 분석하였다. 박막의 입자 형태는 전자현미경에 의해 관찰하였다. X-선회절분석, 라만분광광도계의 결과로부터, 550oC와 750oC에서 합성된 박막은 스피넬구조와 층상 암염 형 구조를 가지는 박막으로 보이며, 650oC에서 합성된박막은 층상 암염 형 구조와 스피넬 구조가 혼재되어져 있는 것으로 생각된다. 750oC에서 합성된 박막은 다른 낮은 온도에서 합성된 박막보다 큰 결정질의 균일한 분포의 입자를 가지는 것으로 확인되었다.
본고에서는 스핀 코터를 이용한 졸-겔 합성공정과 열처리 과정에 의해서 Au 지지체 위에 LiCoO2 박막을 합성하였다.